Gebraucht EBARA Frex 200 #9293811 zu verkaufen

EBARA Frex 200 ist ein vollständig integriertes System zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern. Diese Maschine verfügt über einen computerisierten numerischen Controller (CNC), der präzise und wiederholbare Bewegungen auf der Oberfläche des Wafers ermöglicht. Der CNC verwendet Regelkreise, um Parameter für die Oberflächengüte wie Entfernungsrate, Ausbrüche und partikelfreie Zonensteuerung zu regeln und zu überwachen. Der erste Verfahrensschritt ist das Schleifen der Waferoberfläche. Dabei wird ein geeigneter Schleifstein ausgewählt und der CNC-geführte Roboterarm verwendet. Dies ermöglicht eine höhere Präzision bei einer Vielzahl von Schleifsteingrößen. Die Schleifsteingröße von EBARA FREX200 reicht von 2 „bis 10“ und kann sowohl Standard- als auch Nicht-Standardwafer schleifen. Als nächstes tritt der Wafer in den Läppvorgang ein. Wenn der präzise und wiederholbare CNC-geführte Roboterarm einen Schmierstoff auf den Wafer aufbringt und dabei einen Bereich von Rundengeschwindigkeiten einstellt. Die Läppgeschwindigkeiten von FREX-200 reichen von 400 U/min bis 14 000 U/min und sind an die spezifischen Prozessanforderungen anpassbar. Als nächstes wird der Läppkopf montiert und eine Platte wird mit hoher Geschwindigkeit gesponnen, wodurch ein gleichmäßiger Abrieb und Polieren des Wafers ermöglicht wird. Schließlich wird der Wafer in die Polierstation überführt. Diese Station hat mehrere Anschlüsse, die einstellbare Druckpolierkissen beherbergen, so dass der Bediener eine breite Palette von Waferoberflächenbereichen und -typen polieren kann. Dieses Polierverfahren wird mit einem mikrodynamischen Drucksystem kombiniert, um eine gleichmäßige Qualität des Wafers zu gewährleisten. F-REX200 verfügt auch über ein manuelles Wafer-Pufferrad mit einem speziell entwickelten Pufferkissen, das das Kantenrissen reduziert. Frex 200 kombiniert Waferschleifen, Läppen und Polieren effektiv zu einem automatisierten System, um Präzision, Wiederholbarkeit und hohen Produktionsdurchsatz zu bieten. Durch den Einsatz des CNC können FREX200 sehr konsistente Ergebnisse für eine Vielzahl von Waferanwendungen erzielen. Durch präzises Schleifen und Polieren von Wafern kann diese Maschine Benutzern präzise und genaue Oberflächenbearbeitungen bieten. EBARA F-REX200 ist eine perfekte Passform für jede Operation, die eine hochwertige Waferveredelung erfordert.