Gebraucht EBARA Frex 200 #9362887 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9362887
Chemical Mechanical Planarization (CMP) system
EFEM:
Load port:
(2) EBARA
(2) TAKA
YASKAWA Robot
Position control: Motor + LM Guide (Harmonic gear)
Wafer transfer:
Wafer station: (2) Transporters
Turn over 1
Turn over 2
(2) Pushers L, R
(2) Lifters L, R
RTP
Polishing unit:
Top ring:
Retainer ring
Head type: MPTI
Head missing
Dresser:
(2) Diamond disks
(2) Air balance types
Table:
(2) Stainless steel materials
(2) Lapping surfaces
(2) KOYO Motors
Rotation: Polisher L, R
Slurry line:
(2) Standards
Option
Roller pump system
L and R polisher missing
Cleaner 1:
Method: (2) Roll scrubs (Upper and lower roller)
Mega sonic: (2) Mega jets (Upper and lower roller)
Wafer roller:
Hardness: (8) Duro90
Cleaner 2:
Method: (2) Pencil + SRD
Bevel sponge: (2) Pencil sponges
(2) SRD Dryers
Operation:
ETC:
Position: Front, L Side, R Side
(3) Touch Monitors, 15"
Option:
End point monitor:
(2) TCM: L Side, R Side
MPM8F Controller
ITM
APC / CLC: BC, FS
Atomizer
Utility:
DIW
(5) Upper exhaust connections
2000 vintage.
EBARA Frex 200 ist eine fortschrittliche Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um hochpräzise und zuverlässige Oberflächenveredelungen auf Halbleiterscheiben zu erzeugen. Es verwendet ausgefeilte Schleif-, Läpp- und Poliertechnologie, um Substratoberflächen zu erreichen, die frei von Defekten und Partikeln sind, die die Geräteausbeute beeinflussen können. Das EBARA FREX200 System bietet gegenüber herkömmlichen Schleif- und Poliersystemen mehrere Vorteile. FREX-200 verfügt über einen hochpräzisen Schleifkopf, der einen proprietären synchronisierten Bewegungsmechanismus und einen Direktantriebsmotor verwendet, die eine überlegene Gleichmäßigkeit und Steuerbarkeit bieten. Dies ermöglicht eine überlegene Genauigkeit im Schleifprozess und höhere Ausbeuten und Qualitätsniveaus in der Geräteherstellung. Die gesamte Einheit ist für eine einfache Einrichtung und Bedienung mit einem benutzerfreundlichen Touch-Panel und einer intuitiven Benutzeroberfläche konzipiert. Frex 200 Maschine verfügt auch über Präzisionslappen und Poliertechnologie, die eine glattere Oberfläche auf dem Substrat als mechanisch polieren bietet. Die Läppplatten sind mit einem speziellen Polierschlamm beschichtet, der hilft, Defekte zu reduzieren und die Substratoberfläche gleichmäßig zu halten, während sich der Polierkopf kontinuierlich dreht; so liefert es eine hohe Qualität und gleichmäßige Oberflächengüte. F-REX200 verfügt auch über ein Luftmesser zur Staubentfernung, das dem Werkzeug hilft, eine saubere Arbeitsumgebung zu erhalten. Das Asset verfügt über ein Regelungsmodell, das die Reproduzierbarkeit bei Schleif-, Läpp- und Polierprozessen gewährleistet. Es verfügt über erweiterte Sensorüberwachungs- und Inspektionsmöglichkeiten mit modernster Bildverarbeitungstechnologie, die eine fehlerfreie Fertigung ermöglicht. Die Ausrüstung ist auch mit einem intelligenten Temperaturkontrollsystem ausgelegt, das hilft, die Temperatur während der Produktionsläufe konstant zu halten und einen stabilen Herstellungsprozess und eine stabile Gerätequalität zu gewährleisten. Insgesamt ist FREX200 eine hochentwickelte und zuverlässige Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliereinheit. Es bietet eine außergewöhnliche Kontrolle und Gleichmäßigkeit in den Schleif-, Läpp- und Polierprozessen, so dass Benutzer extrem präzise und qualitativ hochwertige Geräteherstellungsergebnisse erzielen können. Die Maschine ist zudem hochautomatisiert und damit effizient und benutzerfreundlich. EBARA FREX-200 ist eine ideale Lösung für Hersteller, die ein zuverlässiges und präzises Werkzeug benötigen, um Qualität und hohe Erträge in der Geräteproduktion zu gewährleisten.
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