Gebraucht EBARA Frex 300 #293606132 zu verkaufen
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ID: 293606132
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
CMP System, 12"
EFEM (Load/Unload):
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Electric robot
Position control: Motor + Ball screw
Dry robot
Wafer transfer:
(2) Turn overs (R/L Side)
(2) Pushers (R/L Side)
(4) LTP Linear stages (R/L Side)
(2) Lifters (R/L Side)
Wafer stage (R/L Side)
Wet robot
Polishers:
(2) Top ring normal heads
(2) Buffing tables
Slurry line
Chemical (CL) connection
Return Line
(2) Dressers (R/L Side):
Diamond pattern type
Disk type: Plate
(2) Tables (R/L Side):
Material stainless steel
Lapping surface
Motor
(2) Cleaners:
1st Cleaner:
(2) Roll scrubs
(2) Megasonics
Wafer roller: Duro 90
SC-1 < 60°C
2nd Cleaner (Pencil and SRD Unit):
(2) Roll scrubs
Megasonic
Power control unit:
Power control
(4) Drivers:
Head rotation
Head swing
Operation controller (ETC):
Hardware:
VME Bus, board computer
Main CPU: 68 Series 32 Bit
2001 vintage.
EBARA Frex 300 ist eine fortschrittliche Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es wurde entwickelt, um einseitige und/oder doppelseitige polierte Wafer mit enger Kontrolle über die Oberflächenrauhigkeit, Oberflächenebene und Dicke herzustellen. Das System bietet eine hervorragende Steuerbarkeit bei ultrapräzisen Schleif-, Läpp- oder Polieroperationen. EBARA FREX-300 verfügt über eine fortschrittliche digitale Steuereinheit, die eine präzise Steuerung des Schleif-, Läpp- oder Polierprozesses während des Betriebs ermöglicht. Es enthält einen leistungsstarken Sony-Spindelmotor, der eine glatte, schwingungsarme und Hochgeschwindigkeitsrotation bietet und dazu beiträgt, einheitliche Ergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über fortschrittliche Luftlager, die für glatte, vibrationsfreie Schleif-, Läpp- oder Polieroperationen ermöglicht. F-REX300 arbeitet mit einem sechsachsigen Roboterbewegungswerkzeug mit einem dreiachsigen Stufenmodul. Die robuste Roboteranlage bietet präzise und wiederholbare automatisierte Schleif-, Läpp- oder Polieroperationen für wiederholbare Ergebnisse. Das Roboterbewegungsmodell ist vollständig umschlossen, um die Prozesssteuerung und -sicherheit zu verbessern. Das Gerät umfasst integrierte Softwarekomponenten, mit denen die Schleif-, Läpp- oder Polieroperationen angepasst werden können. Die integrierte Software ermöglicht eine einfache und schnelle Anpassung von Schleifparametern. Es verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche, die es einfach macht, die Systemoperationen zu steuern und zu überwachen. Darüber hinaus umfasst die Software eine Datenspeichereinheit, mit der Benutzer Daten vergangener Schleif- und/oder Poliervorgänge zur späteren Überprüfung speichern können. Die Maschine ist mit einer breiten Palette von Schleif-, Läpp- und Polierverbrauchsmaterialien ausgestattet. Die Verbrauchsmaterialien sollen konsistente und wiederholbare Ergebnisse liefern. Die Schleifwerkzeuge werden aus einer Vielzahl von Materialien für verschiedene Operationen wie Grobschleifen, Feinschleifen, Läppen und Polieren hergestellt. Läpp- und Polierwerkzeuge bestehen aus elastischen Materialien wie Keramik und polykristallinem Diamant und sorgen für einheitliche Ergebnisse. EBARA F-REX300 verfügt zudem über zwei verschiedene anwendungsspezifische Komponenten: eine optionale Schleifmittelkassette und eine Polierkassette. Die Schleifkassette ist für einfaches Be- und Entladen von Schleifmaterialien ausgelegt. Die Polierkassette ist so konzipiert, dass sie eine gleichmäßige Anwendung der Poliermittel ermöglicht, wodurch genaue, wiederholbare Ergebnisse erzielt werden können. Frex 300 ist ein hochqualitatives Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das entwickelt wurde, um die Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierprozesse präzise zu steuern. Es verfügt über eine fortschrittliche digitale Steuerung, einen leistungsstarken Sony Spindelmotor, ein Luftlager und ein Roboterbewegungsmodell, integrierte Softwarekomponenten und eine Reihe von Schleif-, Läpp- und Polierverbrauchsmaterialien. Die beiden anwendungsspezifischen Kassetten erleichtern das Be- und Entladen von Schleif- und Poliermaterialien und liefern konsistente und wiederholbare Ergebnisse.
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