Gebraucht EBARA Frex 300 #293652216 zu verkaufen

EBARA Frex 300 ist eine automatisierte Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es bietet extreme Präzision, bietet bis zu 0,5 um Finish und Hochgeschwindigkeitsbetrieb für eine effiziente Produktion. Das System nutzt eine Ultra-Low-Force-Poliereinheit für optimale Ergebnisse, mit einem programmierbaren Drehscheibe mit variabler Geschwindigkeit für die Verarbeitung einer breiten Palette von Arten und Größen Materialien, so dass maximale Flexibilität. Es ist für den Betrieb in einer Reinraumumgebung mit Edelstahl, korrosionsbeständigen Käfigen und laminaren Luftstromhauben konzipiert. Die Maschine besteht aus einem 6-Achsen-Roboter, einem Advanced CNC-Schleifer und einem Zweischeiben-Läpparm. Der Roboter kann Wafer bewegen, arbeitet mit vier Wafern gleichzeitig und ist mit zwei linearen Achsen und zwei Drehachsen ausgestattet. Es ist mit dem CNC-Schleifer über einen Servomotor integriert, der eine präzise Steuerung und eine schnellere Verarbeitungsgeschwindigkeit bietet. Der CNC-Schleifer verfügt über einen hochpräzisen Tisch, ideal zum Waferschleifen, Läppen und Polieren. Der Zweischeiben-Läpparm verwendet eine flache und eine konturierte Frontplatte, um sowohl flache als auch gekrümmte Oberflächen präzise zu polieren, was eine präzise Steuerung und Minimierung von Zykluszeiten ermöglicht. Das Tool bietet auch eine Reihe von anpassbaren Optionen für eine Vielzahl von Anwendungen. Es kann für verschiedene Größen von Wafer-Plattformen konfiguriert werden und ist mit einer Wafer-Reinigungsstation, Druckregelventilen und Luftmessern für eine effiziente Übertragung von Wafern ausgestattet. Darüber hinaus kann das Asset um zusätzliche Funktionen wie verschiedene Läppscheiben, Spannbacken und anderes Zubehör erweitert werden. EBARA FREX-300 wurde entwickelt, um eine einfache und einfache Bedienung zu ermöglichen. Es bietet eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen für die Sicherheit und den Schutz des Bedieners und ist in der Lage, außergewöhnliche Fertigungsergebnisse mit hoher Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Effizienz zu liefern.