Gebraucht EBARA Frex 300 #293768436 zu verkaufen

EBARA Frex 300 ist eine GLP-Ausrüstung (Wafer Grinding, Lapping and Polishing), die entwickelt wurde, um eine präzise Hochleistungsverarbeitung großer Substrate wie Siliziumscheiben zu ermöglichen. Dieses System bietet gegenüber herkömmlichen Boxeneinheiten für solche Substrate erhebliche Vorteile, da es sicher und einfach zu handhaben und zu bedienen ist. EBARA FREX-300 GLP Einheit verwendet einen planetarischen Hochleistungsschleifprozess, um die erforderliche Flachheit, den Schluss und die Reinheit zu erreichen, um den Anforderungen des Kunden zu entsprechen. Diese Maschine verfügt über zwei unabhängige Schleifköpfe, wodurch sie in der Lage ist, zwei Wafer in einem Schritt zu bearbeiten. Das Granitbett und der Rahmen, in dem der Wafer bearbeitet wird, wird durch eine starre Basis- und Oberkopfbrückenstruktur für hohe Präzision unterstützt. F-REX300 GLP-Werkzeug ist mit einem Spindelmotor ausgestattet, der eine Peripheriegeschwindigkeit von bis zu 2,5 Metern pro Sekunde bewältigen kann. Zum Läppen ist diese Anlage mit hochpräzise bearbeiteten, in Diamanten eingebetteten Rollen ausgestattet, die sich an den Umfang des Wafers anpassen und eine gleichmäßige Oberflächengüte bieten. Die drehzahlvariable Läppspindel kann Drehzahlen bis zu 1500 U/min erreichen. Das einzigartige Poliermodell von FREX-300 ist in der Lage, hochwertige Spiegeloberflächen auf einer Vielzahl von Materialien bereitzustellen. Die „Change-on-the-fly“ -Funktion des Geräts ermöglicht es, das Werkzeug schnell zu wechseln, ohne die Polierparameter anpassen zu müssen. Diese Funktion macht es extrem einfach, von einem Material zum anderen zu wechseln, wie Edelstahl zu Silizium. Um den guten Zustand des Wafers während des gesamten Verarbeitungszyklus zu gewährleisten, ist der F-REX 300 mit einem integrierten Substratreinigungssystem ausgestattet. Diese Einheit umfasst mehrere Waschstufen und einen automatischen Sensor, der die Reinheit des Substrats vor und nach jedem Prozess überwacht. EBARA F-REX 300 GLP Maschine ist hochpräzise, einfach zu handhaben und zu bedienen, und ist zuverlässig in der Herstellung von hoher Genauigkeit, Oberflächengüte und Sauberkeit auf einer breiten Palette von Substraten. Dieses Werkzeug ist effizient, reduziert die Zykluszeit und erfordert weniger Eingriff des Bedieners, wobei Abfall praktisch eliminiert wird.