Gebraucht EBARA Frex 300 #293816722 zu verkaufen

EBARA Frex 300 ist eine hochmoderne, hochautomatisierte Schleif-, Läpp- und Polieranlage. Das ausgeklügelte 3-Achsen-Automatisierungssystem auf EBARA FREX-300 sorgt für präzise und konsistente Ergebnisse in einer einzigen Menge Wafer für beliebig viele Wafer. F-REX300 Grinder und Lapper verfügen über einen einzigartigen dreiachsigen mechanischen Auslösemechanismus, der manuelle Handhabung und andere manuelle Prozesse überflüssig macht. Der Schleifer von EBARA F-REX300 hat eine maximale Schleifgeschwindigkeit von bis zu 95.000 U/min, eine Mindestgröße von 40nm und eine hochpräzise Auflösung bei ± 20nm und ist damit die perfekte Wahl für Prozess- und F & E-Anforderungen. Die Poliereinheit auf EBARA F-REX 300 wurde entwickelt, um sehr feine Wafer zu handhaben und kann hochwertige Oberflächen mit Qualitätskontrolle erzeugen. Die polierten Wafer können Rauhigkeit von Ra 2,5 nm und Ebenheit von ein paar Angström erreichen. Die hochpräzise, automatisierte Spiegelpoliermaschine in FREX-300 sorgt für konsistente und leistungsstarke Ergebnisse. Das Tool beinhaltet auch einen Standard-Flat-Lapping-Prozess, der schnelle, wiederholbare und qualitativ hochwertige Läppergebnisse mit Ebenheitseigenschaften von unter 0,1 nm (0,3 nm lokale Ebenheit) bietet. Es gibt ein optionales Pre-Turn-Asset zur Unterstützung des High-End-Läppens, das eine verbesserte Rundungsgenauigkeit ermöglicht. Das integrierte Reinigungsmodell sorgt dafür, dass alle Komponenten der Anlage vor jedem Prozess sauber und frei von Partikeln sind. F-REX 300 ist auch mit einem Nachprüfmodul für die Wafer-Qualitätskontrolle ausgestattet. Frex 300 ist mit einer fortschrittlichen, staubfreien Version entworfen, um die Anforderungen an reinraumfreundliche Operationen zu erfüllen. Das System entspricht auch den SEMI-Standards, was es für die Serienreife geeignet macht. Abschließend ist EBARA Frex 300 eine ideale Einheit zum automatisierten Präzisionsschleifen, Läppen und Polieren von hochwertigen Wafern. Es bietet hochpräzise Ergebnisse, wiederholbare Leistung und niedrige Fehlerquoten.