Gebraucht EBARA Frex 300 #293829696 zu verkaufen

EBARA Frex 300 ist eine hochmoderne Schleif-, Läpp- und Polieranlage zum Schleifen, Läppen und Polieren von Silizium, Saphir und anderen optischen Materialien. Dieses System liefert präzise, einheitliche und hoch vorhersagbare Ergebnisse, da es während des gesamten Schleif- und Polierprozesses bis zu 5 Achsen mehrachsiger Steuerung bietet. Das Gerät verwendet einen Drehtisch, der eine höhere Schleifgeschwindigkeit und höhere Wafer-zu-Wafer-Konsistenz durch die konstante und präzise Einstellung der Drehtischgeschwindigkeit ermöglicht. Der Schleiftisch wird von einem leistungsstarken Gleichstrom-Servomotor angetrieben, der Präzisionsschleifen und Läppen unter Vermeidung von mechanischer Beanspruchung der Wafer und Bearbeitungskomponenten gewährleistet. EBARA FREX-300 ist mit 3 Stationen ausgestattet, jede Station ist mit speziellen Spindeln und Schleifwerkzeugen ausgestattet und ermöglicht schnelle Werkzeugwechsel sowie kundenspezifische Werkzeugabläufe. Zusätzlich verfügt die Maschine über eine eingebaute Luftströmungsregelung, die eine optimale Luftströmung bei der Waferoberflächenbearbeitung gewährleistet. Die Luftströmungsregelung beseitigt die Staubhaftung auf den Waferoberflächen und vermeidet ein Verkratzen des Oberteils durch oberflächenstatische Elektrizität. Zur besseren Genauigkeit wird das Hauptpräzisionsschleifen und -lappen in der Regel getrennt vom Schleifschlamm-Schleifen durchgeführt. Erstere verwendet ein Scheibenverstellband zur präzisen Zuführung und Steuerung des Schleifens oder Polierens. Die Schleifschlamm Schleifen wird in einer nassen Umgebung durchgeführt und verwendet ein Online-Slurry-Feed-Tool, um eine präzise Slurrying-Einstellung und Genauigkeit zu gewährleisten. F-REX300 hat vorprogrammierte Schleifoptionen und bietet die Wahl zwischen Schleifmodi wie Grobschleifen, Feinschleifen, Polieren, Ultraglätte und Spiegeloberflächenpolieren. Als vollautomatische Lösung wurde das Asset entwickelt, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Schleifprozesses zu verbessern und die manuelle Feinabstimmung zu beseitigen, was Bedienungsfehler reduziert. Schließlich ist FREX-300 so konzipiert, dass Schwingungen und andere maschinenbedingte Probleme während des Schleifprozesses durch Verwendung eines Schwingungsdämpfers vermieden werden. Das Modell ist umweltfreundlich, energieeffizient und bietet LCD-Touchpanel-Displays und andere Funktionen, um den Bedienkomfort und die Genauigkeit zu verbessern.