Gebraucht EBARA Frex 300 #9152437 zu verkaufen

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EBARA Frex 300
Verkauft
ID: 9152437
Wafergröße: 12"
Tungsten CMP systems 12".
EBARA Frex 300 ist ein „Wafer Schleifen, Läppen & Polieren“ Ausrüstung, die manuelle, halbautomatische und vollautomatische Modi erleichtert. Es ermöglicht Waferherstellern, ihren Betrieb zu optimieren und zu rationalisieren und gleichzeitig Kosten und Zeit für die Vorbereitung von Wafern für die weitere Verarbeitung oder Montage deutlich zu verringern. EBARA FREX-300 wurde entwickelt, um eine breite Palette von Operationen durchzuführen, einschließlich Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll. Das System besteht aus einer Reihe von modularen Komponenten, die an individuelle Bedürfnisse angepasst werden können. Die Hauptkomponenten sind eine Steuereinheit, ein Schleifkopf und zwei Polierköpfe. Das Steuergerät ist eine Touch-Panel-Schnittstelle mit einem LCD-Display zur Konfiguration und Überwachung des Prozesses. Es enthält auch eine Vielzahl von Sensorein- und -ausgängen zur Steuerung der Geschwindigkeit und des Drucks der Schleif- und Polierköpfe. Der Schleifkopf, der primäre Bestandteil der Einheit, ist so ausgelegt, dass er die Oberfläche des Wafers abschleift und seine Kanten glättet. Es enthält eine Hochgeschwindigkeitsspindel, die auf Geschwindigkeit und Druck eingestellt werden kann, um einen konsistenten und präzisen Schleifen zu gewährleisten. Die beiden Polierköpfe werden verwendet, um das Werkstück zu glätten, zu schlichten und aufzuhellen. Der erste Kopf ist ein fester Polierarm und der zweite Kopf ist ein vibrierender Polierer, der einen schonenderen, gleichmäßigeren Druck auf das Werkstück ausübt. Beide Köpfe sind mit Spindeln ausgestattet, die angepasst werden können, um den Druck, den sie auf das Werkstück ausüben, zu erhöhen und zu verringern. Der einzigartige, modulare Aufbau von F-REX300 und die breite Palette an Einstellbarkeit und Steuerung ermöglichen es, auf die Bedürfnisse der einzelnen Hersteller zugeschnitten zu sein und für viele verschiedene Anwendungen eingesetzt zu werden. Es bietet auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, wie einen Türsensor, um versehentlichen Kontakt mit dem Spinnkopf zu verhindern, und Nothaltefunktionen. Zusätzlich kann die Maschine mit einer Vielzahl von Waferhaltern ausgestattet werden, so dass Wafer unterschiedlicher Größe in einem Aufbau bearbeitet werden können. Frex 300 ist eine effiziente, kostengünstige und zuverlässige Möglichkeit, Wafer für die Weiterverarbeitung oder Montage vorzubereiten.
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