Gebraucht EBARA Frex 300 #9163556 zu verkaufen

EBARA Frex 300 ist eine automatisierte Schleif-, Läpp- und Polieranlage der EBARA Corporation. Es handelt sich um eine Bank-Top-Maschine, die für die Handhabung kleinerer Wafergrößen ausgelegt ist und es Kunden ermöglicht, die Vorteile der fortschrittlichen Abriebprozesstechnologie der EBARA Group zu nutzen. EBARA FREX-300 kann sogar wärmeempfindliche und schwer handhabbare Wafer mit überlegener Oberflächengüte und minimaler Verformung schleifen, schlagen und polieren. F-REX300 verfügt über eine Tischplatte mit einem Roboterarm für hohe Geschwindigkeit und präzisen Betrieb ausgestattet. Der Arm kann von der Basis kippen, um die besten Schleifwinkel für eine Vielzahl von Materialien und Wafergrößen zu erhalten. F-REX 300 enthält auch eine Lastschloßkammer, die Atmosphärendruck aufrechterhält und Verschmutzungen während des Prozesses verhindert. Der Schleifvorgang erfolgt in einem abgedichteten Edelstahlbehälter, der präzisionsgesteuerte Schleifschlamm nutzt, um die Oberfläche des Wafers bis zur gewünschten Oberflächengüte zu schleifen. Sowohl die Güllezufuhr als auch die Drehzahl des Schleifkissens sind einstellbar, was vielseitige Schleif- und Polierstrategien ermöglicht. Zusätzlich kann der obere Deckel des Schleifbettes leicht geschlossen und mit mehreren Vakuumarmaturen montiert werden. Dies hilft, eine sichere Umgebung zu schaffen und gleichzeitig die Oberflächengüte zu maximieren. Der Läppvorgang erfolgt innerhalb eines geschlossenen Kreislaufsystems, bei dem die Läppfläche genau gesteuert wird. Das Gerät hat die Fähigkeit, Wafer entsprechend der Oberflächengüte nach dem Läppvorgang zu sortieren. Durch die Verwendung von Fluidsteuerung kann der Läppvorgang ein- oder zweiseitiges Waferpolieren sowie mehrere Läppzyklen erreichen. Der Polierprozess wird mit einstellbarer Flüssigkeitszufuhr und Dosierung durchgeführt. Frex 300 entwarf eine Polierkammer, die versiegelt ist, um Verunreinigungen während des Polierprozesses zu verhindern. Es kann auch mit oder ohne Vakuum betrieben werden, um unerwünschte Partikel von der Oberfläche zu entfernen. EBARA F-REX 300 ist eine ideale Maschine zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, die eine hervorragende Oberflächengüte und minimale Verformung bietet. Sie ermöglicht es Kunden, die Vorteile der fortschrittlichen Abriebprozesstechnologie der innovativen EBARA Corporation zu nutzen.