Gebraucht EBARA Frex 300 #9224087 zu verkaufen

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EBARA Frex 300
Verkauft
ID: 9224087
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
CMP System, 12" Factory interface (FI) Frame config: Metro Polisher (L/R): Polishing heads: 300mm AL Head, Gen. II Endpoint: TCM & Friction Platen type: Ceramic (SIC) Platen speed: 10-150 RPM Platen pad conditioner: Scan dresser disc, 4” Sweep driven Slurry delivery: CLC Delivery Slurry line 1: ASAHI 25-250 ml/min (Low flow rate) Platen cooling flow monitor: TOKYO KEISO Platen cooling temp monitor: User configurable alarm settings Dresser DIW flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min Atomizer Cleaner: Cleaner 1 type: Roller brush Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability) Chemical 1 Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min Chemical 1 Lower flow meter: 0.0-1.0 L/min Spin rinse drier: Pencil brush Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability) Options: Robot D / R / L: YASKAWA Status lamp (RYGB, Front / Rear) Monitor 1: Front Monitor 2: Left side Monitor 3: Right side EPD Monitor: Right side Communication: Controller (Logic): VME Controller (Process database): Touch panel Hard disk not included 2004 vintage.
EBARA Frex 300 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die zur Herstellung von dünnen, flachen Wafern für die Elektronikindustrie verwendet wird. Das System arbeitet mit fortschrittlicher CNC-Technologie, um die Schleif-, Läpp- und Polierprozesse genau zu steuern. Der erste Verfahrensschritt ist das Schleifen des Wafers, der mit einem Lapprad durchgeführt wird. Angetrieben wird die Rundscheibe von einem hochpräzisen Schrittmotor, der extrem präzise Schleifpegel ermöglicht. Der zweite Schritt ist das Läppen des Wafers, was mit einer Kugellager-Läppplatte erfolgt. Die Geschwindigkeit und der Druck des Läppvorgangs werden durch eine ausgeklügelte Servosteuerung gesteuert, die sicherstellt, dass das gewünschte Ergebnis bei optimaler Qualität erzielt wird. Der dritte und letzte Schritt ist das Polieren des Wafers, der mit einem Diamantpolierkissen durchgeführt wird. Das Diamant-Polierkissen wird von einem bürstenlosen Gleichstrommotor angetrieben, der einen halbautomatischen Polierprozess ermöglicht. Der Motor wurde entwickelt, um die Prozesseffizienz zu verbessern und eine hochwertige Verarbeitung zu gewährleisten. Die Maschine ist mit einem Sichtwerkzeug ausgestattet, mit dem die Form und das Finish des Wafers überprüft wird. Das Vision Asset ist mit einem präzisen CNC-Bewegungssteuerungsmodell integriert, das eine extrem präzise Manipulation des Wafers ermöglicht. Die CNC-Ausrüstung ist auch in der Lage, die Geschwindigkeit der Schleif-, Läpp- und Polierprozesse einzustellen, um sicherzustellen, dass die gewünschten Ergebnisse erzielt werden. EBARA FREX-300 ist darauf ausgelegt, sicher, effizient und mit minimalem Eingriff des Bedieners zu arbeiten. Das System ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie elektronisch verriegelten Türen, Not-Aus-Tasten und anspruchsvollen Maschinenüberwachungssystemen. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um eine optimale Leistung zu gewährleisten, wie hochpräzise Schrittmotoren, leistungsstarke bürstenlose Gleichstrommotoren und präzise CNC-Bewegungssteuerungssysteme. F-REX300 verfügt auch über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, die es den Betreibern ermöglicht, die Einstellungen einfach an ihre Bedürfnisse anzupassen und zu verfeinern.
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