Gebraucht EBARA Frex 300 #9224087 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9224087
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
CMP System, 12"
Factory interface (FI)
Frame config: Metro
Polisher (L/R):
Polishing heads: 300mm AL Head, Gen. II
Endpoint: TCM & Friction
Platen type: Ceramic (SIC)
Platen speed: 10-150 RPM
Platen pad conditioner:
Scan dresser disc, 4”
Sweep driven
Slurry delivery: CLC Delivery
Slurry line 1: ASAHI 25-250 ml/min (Low flow rate)
Platen cooling flow monitor: TOKYO KEISO
Platen cooling temp monitor: User configurable alarm settings
Dresser DIW flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Cleaner 1 type: Roller brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Chemical 1 Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Chemical 1 Lower flow meter: 0.0-1.0 L/min
Spin rinse drier: Pencil brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: Left side
Monitor 3: Right side
EPD Monitor: Right side
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (Process database): Touch panel
Hard disk not included
2004 vintage.
EBARA Frex 300 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die zur Herstellung von dünnen, flachen Wafern für die Elektronikindustrie verwendet wird. Das System arbeitet mit fortschrittlicher CNC-Technologie, um die Schleif-, Läpp- und Polierprozesse genau zu steuern. Der erste Verfahrensschritt ist das Schleifen des Wafers, der mit einem Lapprad durchgeführt wird. Angetrieben wird die Rundscheibe von einem hochpräzisen Schrittmotor, der extrem präzise Schleifpegel ermöglicht. Der zweite Schritt ist das Läppen des Wafers, was mit einer Kugellager-Läppplatte erfolgt. Die Geschwindigkeit und der Druck des Läppvorgangs werden durch eine ausgeklügelte Servosteuerung gesteuert, die sicherstellt, dass das gewünschte Ergebnis bei optimaler Qualität erzielt wird. Der dritte und letzte Schritt ist das Polieren des Wafers, der mit einem Diamantpolierkissen durchgeführt wird. Das Diamant-Polierkissen wird von einem bürstenlosen Gleichstrommotor angetrieben, der einen halbautomatischen Polierprozess ermöglicht. Der Motor wurde entwickelt, um die Prozesseffizienz zu verbessern und eine hochwertige Verarbeitung zu gewährleisten. Die Maschine ist mit einem Sichtwerkzeug ausgestattet, mit dem die Form und das Finish des Wafers überprüft wird. Das Vision Asset ist mit einem präzisen CNC-Bewegungssteuerungsmodell integriert, das eine extrem präzise Manipulation des Wafers ermöglicht. Die CNC-Ausrüstung ist auch in der Lage, die Geschwindigkeit der Schleif-, Läpp- und Polierprozesse einzustellen, um sicherzustellen, dass die gewünschten Ergebnisse erzielt werden. EBARA FREX-300 ist darauf ausgelegt, sicher, effizient und mit minimalem Eingriff des Bedieners zu arbeiten. Das System ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie elektronisch verriegelten Türen, Not-Aus-Tasten und anspruchsvollen Maschinenüberwachungssystemen. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um eine optimale Leistung zu gewährleisten, wie hochpräzise Schrittmotoren, leistungsstarke bürstenlose Gleichstrommotoren und präzise CNC-Bewegungssteuerungssysteme. F-REX300 verfügt auch über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, die es den Betreibern ermöglicht, die Einstellungen einfach an ihre Bedürfnisse anzupassen und zu verfeinern.
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