Gebraucht EBARA Frex 300 #9252531 zu verkaufen

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EBARA Frex 300
Verkauft
ID: 9252531
Wafergröße: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300 ist eine Hochleistungs-Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die den anspruchsvollen Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist ein hochgenaues und zuverlässiges System, das einen hochmodernen Schleifkopf umfasst, der mit einer leistungsstarken Bewegungseinheit, fortschrittlicher Steuerungssoftware und einer Reihe von anspruchsvollen Läpp- und Polierzubehörteilen integriert ist, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse auf einer Reihe von Substratmaterialien zu gewährleisten. Der Schleifkopf in EBARA FREX-300 ist mit einer proprietären Diamantschleifscheibe aus Metall ausgestattet, die in der Lage ist, einstufige Schleifvorgänge mit ausgezeichneter Oberflächenqualität, Genauigkeit und Durchsatz durchzuführen. Dieses Rad ist in der Lage, verschiedene Größen und Arten von Wafern aufzunehmen und kann mit Anpassungen an die Spaltgröße arbeiten, um verschiedene Waferdicken aufzunehmen. Der Schleifkopf bietet auch vertikal integrierte Servo- und Drehachsen, um hochpräzise Anpassungen zu ermöglichen, und er verfügt über eine 5-Achsen-Antriebsmaschine zur fein abgestimmten Steuerung der Bewegung. Die integrierte fortschrittliche Software in F-REX300 ermöglicht eine anspruchsvolle Zyklusplanung und Prozesseinstellungen, die auf dem Werkzeug angepasst und gespeichert werden können. Dies ermöglicht eine breite Palette von Schleif- und Polierrezepten für verschiedene Anwendungen, so dass der Bediener die beste Wahl für seine spezifische Anwendung finden kann. Das Asset verfügt zudem über ein SPS-basiertes Steuerungsmodell, das sicherstellt, dass der Schleif- und Polierprozess konsistent bleibt. Darüber hinaus ist F-REX 300 auch mit einer Reihe von Läpp- und Polierzubehör ausgestattet, die es ermöglichen, Feinpolieroperationen durchzuführen. Dieses Zubehör umfasst eine Reihe von Polierschaum, Filz und Papier, die verwendet werden können, um verschiedene Korngrößen und Oberflächen zu erreichen. Darüber hinaus umfasst die Ausrüstung ein Diamantschlamm-Injektionssystem und einen Verbundspender, um das Präzisionsschleifen, Läppen und Polieren zu erleichtern. Abschließend ist Frex 300 eine leistungsstarke und vielseitige Schleif-, Läpp- und Poliereinheit, die Genauigkeit, Durchsatz und Wiederholbarkeit für fortschrittliche Halbleitermaterialien und -komponenten bietet. Seine umfassende Palette von Schleif-, Läpp- und Polierzubehör verleiht ihm einen bedeutenden Vorsprung in der Branche und ermöglicht es, hochpräzise Ergebnisse bei optimaler Oberflächengüte zu erzielen.
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