Gebraucht EBARA Frex 300 #9384035 zu verkaufen

ID: 9384035
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
CMP System, 12" Missing parts 2002 vintage.
EBARA Frex 300 ist eine präzise und kostengünstige Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Massenproduktion von Halbleiterwafern und anderen dünnen Wafern entwickelt wurde. Diese Maschine wurde speziell entwickelt, um Hochgeschwindigkeitsschleifen auf minimalem Raum anzubieten. EBARA FREX-300 eignet sich zur Herstellung ultraglatter, fehlerfreier Oberflächen auf einer Vielzahl von Materialien wie Si, SiC, GaAs und anderen Arten von dünnen Wafern. Der Kern des Systems ist sein fortschrittlicher Schleif-, Läpp- und Polierprozess, der ein schnelles und gleichmäßiges Wafer-Polieren gewährleistet. Dieses Verfahren besteht aus drei aufeinanderfolgenden Stufen; nämlich Schleifen, Läppen und Polieren. Während der Mahlstufe werden die Schleifpartikel zur Materialabtragung in nanometrischen Schritten einer Hochgeschwindigkeitsrotation unterzogen. Während des Läppvorgangs werden die Schleifpartikel wieder einer Hochgeschwindigkeitsrotation in Verbindung mit präzisem Druck unterworfen, was einen noch minimalen Materialabtrag und eine Oberflächenabflachung ermöglicht. Die Polierstufe beinhaltet dann das Aufbringen von Schleifpartikeln bei entsprechendem Druck und Materialabtrag, um eine hochglanzpolierte Oberfläche zu bilden. F-REX300 verfügt auch über einen fortschrittlichen modularen Aufbau für einfache Wartung; Dies ermöglicht es Kunden, ihre Systeme für bestimmte Anwendungen anzupassen. Die Maschine ist mit einer hochgenauen CNC-Spindel zur Bearbeitung von Werkzeugen für Schleifoperationen ausgestattet. Die Maschine verfügt auch über ein temperaturempfindliches Luftlager, das eine präzise Bearbeitung mit hoher Geschwindigkeit und Präzision ermöglicht. Der Betrieb des EBARA F-REX 300 wird durch den automatisierten Be- und Entlademechanismus, die Druckeinstellung und die CCD-Inspektion weiter verbessert. Die Maschine verfügt auch über eine Benutzeroberfläche, die eine vollständige Überwachung und Kontrolle des Prozesses ermöglicht und alle Funktionen der Einheit anzeigt. Insgesamt ist F-REX 300 eine leistungsstarke Schleif-, Läpp- und Poliermaschine, die für eine schnelle, kostengünstige und effiziente Bearbeitung dünner Wafer entwickelt wurde. Seine fortschrittliche Schleif-, Läpp- und Poliertechnologie, gepaart mit seinen fortschrittlichen Designmerkmalen, sorgt für eine überlegene und präzise Oberflächengüte auf einer Vielzahl von Materialien.
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