Gebraucht EBARA Frex 300 #9384477 zu verkaufen
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ID: 9384477
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
CMP System, 12"
STI
Polisher (Right / Left)
Cleaner
Dryer
Missing parts:
Front end robot
Load port
2004 vintage.
EBARA Frex 300 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung zum kritischen 300mm-Waferschleifen, Läppen und Polieren auf allen Materialien, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und Quarzscheiben. EBARA FREX-300 ist einfach zu bedienen und mit den neuesten Fortschritten in der automatisierten Waferaufbereitung ausgestattet. F-REX300 verfügt über ein vollautomatisches Waferbearbeitungssystem, das eine schnelle und genaue Waferaufbereitung gewährleistet. Es ist mit einem leistungsstarken Schleif-, Läpp- und Poliermodul ausgestattet, das hochpräzise Oberflächen auf Wafern herstellen kann. Es verwendet hochpräzise Spindeln, die mit hohen Geschwindigkeiten für den Schleif-, Läpp- und Polierprozess rotieren. Zusätzlich ist F-REX 300 mit einer variablen Schleifrichtungseinheit ausgestattet, die einen effizienten Materialabtrag ermöglicht. Mit der variablen Schleifrichtungsmaschine kann EBARA F-REX 300 kreisförmige und nicht kreisförmige Wafer problemlos verarbeiten. FREX-300 ist auch mit Auto-Sensing und Auto-Cycling-Funktionen ausgestattet. Das Auto-Sensing-Feature erkennt die Art des Wafers, der bearbeitet wird, sowie seine Größe und Dicke. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer aufgrund seiner spezifischen Eigenschaften innerhalb der optimalen Parameter verarbeitet wird. Die Auto-Cycling-Funktion ermöglicht die genaue und effiziente Übertragung von Wafern vom Wafer-Ladewagen in die Schleif-, Läpp- und Polierkammer und umgekehrt. Frex 300 ist für maximale Produktivität und Effizienz ausgelegt. Es ist in der Lage, große und kleine Wafer im gleichen Prozesszyklus zu verarbeiten. Es kann mehrere Wafer gleichzeitig und bis zu 10 Wafer pro Zyklus verarbeiten. Darüber hinaus ist EBARA F-REX300 für geringen Verschleiß, weniger Wartung und längere Lebensdauer ausgelegt. Sicherheitstechnisch verfügt EBARA Frex 300 über ein Sicherheitswerkzeug der Stufe 5 für die Handhabung und Verarbeitung von Wafern. Darüber hinaus ist das Asset mit ergonomisch gestalteten Tabletts ausgestattet, die es benutzerfreundlich machen. Dadurch wird verhindert, dass die Wafer während des Be- und Entladevorgangs manuell durch mögliche Schäden behandelt werden. Insgesamt ist EBARA FREX-300 ein sehr zuverlässiges und effizientes Schleif-, Läpp- und Poliermodell. Es ist für die Bearbeitung von einzelnen Wafern und mehreren Wafern konzipiert und ermöglicht gleichzeitig hohe Präzision und Genauigkeit. Die Eigenschaften von F-REX300 machen es zu einer perfekten Lösung für die Produktion von Wafern in hoher Stückzahl.
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