Gebraucht EBARA Frex 300e #293742057 zu verkaufen

ID: 293742057
Weinlese: 2006
CMP System Dual module system High throughput Dry in / out system Single head 2006 vintage.
EBARA Frex 300e ist eine fortschrittliche, automatisierte Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Dieses System wurde entwickelt, um höchste Effizienz und Durchsatz bei der Herstellung von Dünnschichtgeräten und MEMS (Micro-Electronic Mechanical Systems) zu bieten. Frex 300e ist eine vielseitige Einheit mit modularen Teilen, die austauschbar sind, um sich an bestimmte Dünnschicht- und MEMS-Prozesse und -Anforderungen anzupassen. Die Maschine verfügt über eine Vielzahl von funktionalen Funktionen, wie Schleifen, Läppen und Polieren, sowie eingebettete Prozessüberwachung, Vibrationsreduzierung und eine Vielzahl von Diagnosefunktionen. Das Werkzeug verfügt zudem über eine Automatisierungsstufe, die eine Wiederholbarkeit und Genauigkeit des Herstellungsprozesses von Dünnschicht- und MEMS-Geräten ermöglicht. In Bezug auf das Schleifen ist das Gut in der Lage, sowohl flache als auch gekrümmte Oberflächen auf Diamant, Glas, Silizium und anderen mikroelektronischen Materialien zu erzeugen. Das Läppen kann auch mit dem Modell ermöglicht werden, indem ein Diamant oder andere abrasive Materialien verwendet werden, um die Oberfläche des Dünnschicht- und MEMS-Geräts zu glätten. Polieren ist auch mit dem EBARA Frex 300e möglich, der mit einem hochpräzisen Roboterarm wiederholbare, konsistente Ergebnisse erzielt. Die Ausrüstung umfasst auch erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen mit integrierten Sensoren, die den Fortschritt der Schleif-, Läpp- und Polierprozesse erkennen. Dies ermöglicht eine aktive Prozesskontrolle, verhindert Schäden am Gerät sowie eine hohe Qualität des fertigen Produkts. Das System verfügt auch über eingebaute Vibrationsreduzierung und mehr Stabilität in den Schleif-, Läpp- und Polierprozessen. Dies führt zu konsistenteren Ergebnissen und höheren Ausbeuten bei jedem Prozessablauf. Schließlich verfügt das Gerät über eine Vielzahl von Diagnosefunktionen, die den Techniker auf mögliche Probleme während des Prozesses aufmerksam machen können. Die Alarme können entsprechend den Anforderungen des Dünnschicht- oder MEMS-Geräteherstellungsprozesses konfiguriert und angepasst werden. Insgesamt ist Frex 300e eine fortschrittliche, multifunktionale, Roboter-Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliermaschine. Dieses Werkzeug ist ideal für Dünnschicht- und MEMS-Geräteproduktionslinien und ermöglicht hohe Genauigkeit, Effizienz und Prozesskontrolle.
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