Gebraucht EBARA Frex 300S #293591998 zu verkaufen
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ID: 293591998
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CMP Systems, 12"
Function control test
2006 vintage.
EBARA Frex 300S ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Präzisionsbearbeitung von Keramik- und Kristallmaterialien entwickelt wurde. Es liefert zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse in kurzen Bearbeitungszeiten, was es zu einem idealen Produktionssystem für die Herstellung von Hochvolumenkomponenten macht. Das Gerät verfügt über einen modularen Aufbau, der es ermöglicht, die spezifischen Anforderungen jeder Anwendung zu erfüllen. Zu den Hauptkomponenten gehören ein Waferträger, ein Drehtisch, zwei Läppplatten, ein Polierkissen und eine servogesteuerte Antriebsmaschine. Der Waferträger ist zum sicheren Halten und Positionieren von Wafern während der Schleif- und Läppvorgänge ausgelegt. Es ist mit einer hitzebeständigen Schutzfolie für zusätzlichen Schutz beim Schleifen von Materialien mit hoher Wärmeausdehnung ausgestattet. Darüber hinaus verfügt es über eine robuste Konstruktion, um sicherzustellen, dass es bei langen Produktionsläufen wirksam bleibt. Der Drehtisch ist für das Drehen des Wafers verantwortlich, da er geschliffen und geläppt wird. Es besteht aus einem leistungsstarken Motor, der mit einem Antriebsriemen verbunden ist, so dass sich der Drehteller mit Drehzahlen von 0,7 bis 2000 U/min drehen kann. Der Drehtisch kann so eingestellt werden, dass er die Größe des Wafers aufnimmt und eine gleichmäßige Bewegung während der Bearbeitung ermöglicht. Die beiden Läppplatten sind zum Schleifen und Schlagen des Wafers ausgelegt. Die Läppplatten sind in verschiedenen Materialien erhältlich, so dass sie für das zu bearbeitende Material geeignet sind. Die Platten bestehen aus einer hochwertigen Aluminiumlegierung und können hohen Drücken bis zu 35MPa standhalten. Das Polierkissen wird verwendet, um das Wafermaterial zu einem feinen Finish zu polieren. Es besteht aus einer glatten, kratzfesten Oberfläche, die große Belastungen aufnehmen und eine hochglänzende Oberfläche bieten kann. Schließlich ermöglicht das servogesteuerte Antriebswerkzeug eine präzise Steuerung des Bearbeitungsprozesses und stellt sicher, dass die Bearbeitungsparameter innerhalb des gewünschten Genauigkeitsniveaus liegen. Zum Asset gehört auch ein servogesteuertes Temperaturkompensationsmodell, das die Betriebsparameter in Abhängigkeit von der Materialtemperatur automatisch anpasst. Zusammenfassend ist EBARA FREX300S eine vielseitige und zuverlässige Schleif-, Läpp- und Polieranlage, die präzise und wiederholbare Ergebnisse in kurzen Bearbeitungszeiten liefert. Es hat eine modulare Konstruktion, so dass es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet ist, und ist mit einer robusten mechanischen Architektur für langfristige Zuverlässigkeit ausgestattet.
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