Gebraucht EBARA Frex 300S #293625791 zu verkaufen

EBARA Frex 300S ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es ist ein vollautomatisches, CNC-gesteuertes System, das in der Lage ist, Mehrkristall-, Mehrstufen- und kundenspezifische gemusterte Halbleiterscheiben zu produzieren. Das Gerät ist mit einer 6-Achsen-Bewegungsmaschine, einem digitalen Videomikroskop, einer geschlossenen Schleifenposition und Druckservos sowie einem speziellen Roboterarm mit Präzisionsendeffektor ausgestattet. EBARA FREX300S wurde entwickelt, um eine hohe Rundheit, Oberflächenebene und Waferdickelgenauigkeit zu erhalten. Das Werkzeug verfügt über einen Schleif-/Polierkopf mit einstellbarer Druck- und Vorschubsteuerung, der dem Bediener höchste Kontrolle über die Bearbeitungsprozessparameter gibt. Der Roboterarm ermöglicht eine präzise Positionierung und Handhabung des Wafers während des Schleifvorgangs. F-REX300S bietet auch einen fortschrittlichen Läppprozess, der eine hohe Poliergenauigkeit gewährleistet. Bei diesem Verfahren wird der Wafer in eine Ausgangsform gesägt und anschließend auf fertige Abmessungen geschliffen. Diese Verfahrensstufe erfolgt durch eine kreisförmige Bewegung des Schleif-/Polierkopfes, während die Bandschleifer eine hochpräzise Oberfläche liefern. EBARA FREX-300 S erreicht hervorragende Oberflächengüte und Wafer-Gleichmäßigkeit. Es ist mit einem digitalen Videomikroskop und Spektrometer ausgestattet, um Oberflächenqualität, Partikelanalyse und Formprofile zu überwachen. Die Anlage ist auch kompatibel mit verschiedenen Arten von Poliermischungen und diamantartigen Suspensionsslurries. Insgesamt bietet EBARA FREX 300 S ein hohes Maß an Automatisierung, Genauigkeit und Wafer-Qualitätskontrolle, die für die Minimierung von Fehlerraten im Halbleiterherstellungsprozess unerlässlich ist. Mit seiner Kombination aus fortschrittlicher Schleif- und Läpptechnologie ist F REX 300 S ein bewährter Branchenführer in der Entwicklung und Herstellung hochwertiger Halbleiterscheiben.