Gebraucht EBARA Frex 300S #9225525 zu verkaufen
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EBARA Frex 300S ist eine vollautomatische Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die auf maximale Effizienz und hervorragende Ergebnisse ausgelegt ist. Dieses System kann eine breite Palette von ein- und mehrseitigen Wafern durch eine Reihe von Schleif-, Läpp- und Polierprozessen verarbeiten. EBARA FREX300S verfügt über eine integrierte Erkennungstechnologie, die die Wafer-Funktionen automatisch erkennt, lokalisiert und misst und den Benutzer durch die richtigen Schleifparameter führt. Entwickelt für Sauberkeit und Sicherheit, ist die Einheit in einem Edelstahl- und Kunststoffgehäuse eingeschlossen. Diese Konstruktion bietet Schutz vor Staub, luftgetragenen Partikeln und anderen Verunreinigungen. Alle Zugangspunkte sind mit Luftfiltern und Spiegeln zur visuellen Kontrolle von Partikeln und Partikeln ausgestattet. Um sicherzustellen, dass die Maschine korrekt funktioniert, enthält das Gehäuse einen internen Druckaufnehmer und einen atmosphärischen Drucksensor. F-REX300S verwendet ein modulares Werkzeug mit einer Kombination aus statischen und dynamischen Komponenten. Dadurch wird sichergestellt, dass das Asset Wafergrößen von 50mm bis 400mm aufnehmen kann. Die statischen Komponenten des Modells umfassen die Basis und den Rahmen, den Tank, die Wasserversorgung und die Pumpe und die Druckkontrollausrüstung. Die dynamischen Komponenten bestehen aus einem Hochgeschwindigkeitsmotor, Servomotoren, Sensoren und optischen Systemen, Überwachungs- und Steuerrechnern sowie einer Benutzeroberfläche. Das Design ermöglicht es dem Benutzer, aus einer Vielzahl von Schleif-, Läpp- und Poliermöglichkeiten auszuwählen. Das Schleifverfahren umfasst eine kleine Diamantscheibe, die auf die Waferoberfläche aufgebracht wird, die Oberflächenunregelmäßigkeiten entfernt und für aufeinanderfolgende Prozesse vorbereitet. Das Läppen und Polieren kann auch mittels einer Kombination aus Schleifpapier und Diamantscheiben-Polierkissen auf die Waferoberfläche aufgetragen werden. Der Anwender kann seinen Prozess anpassen und mit den integrierten Überwachungs- und Steuerungssystemen in Echtzeit überwachen. Mit diesem System können Anwender qualitativ hochwertigste und präzise Ergebnisse erzielen EBARA F REX 300 S liefert.
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