Gebraucht EBARA Frex 300S #9235789 zu verkaufen

EBARA Frex 300S
ID: 9235789
Wafergröße: 12"
CMP Systems, 12".
EBARA Frex 300S ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage mit einem breiten Anwendungsspektrum in der Halbleiter- und Optoelektronik. Dieses hochpräzise System ist für die effiziente und präzise Herstellung von Halbleiterbauelementen auf der Nanoskala ausgelegt. EBARA FREX300S hat eine 300mm Waferkapazität, Low-Profile-Design und Dual-Head Schleifen und Läppen Fähigkeit. Es ist mit einer Open-Air-automatischen Wafer-Ladeeinheit sowie einer reinraumreifen Spin-Trockner-Maschine ausgestattet, die eine schnelle Wafer-Wende ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über einen hochgenauen Wechselstrom-Servomotor zum Präzisionsflächenschleifen und Läppen. Das Schneiden und Schleifen erfolgt mit Diamantgeräten mit wählbarer Kinematik. Der Läppprozess verwendet eine glatte, schnelle und präzise Bewegung, um eine sehr gleichmäßige und fehlerfreie Oberflächengüte zu erzeugen. Das Läppen erfolgt entweder mit Diamantschleifmittel oder herkömmlichen Metall Läppplatten, sorgfältig berücksichtigt wird, um Überlastung von Wafern und Gräben zu vermeiden. Das Asset verfügt außerdem über ein Modell zur Messung der Waferdicke mit hoher Genauigkeit, um präzise und konsistente Schleifergebnisse zu gewährleisten. F-REX300S ist sehr energieeffizient ausgelegt und produziert gleichzeitig hochwertige Werkstücke. Der präzise Schleif- und Läppprozess erzeugt minimale Wärme und Staub und ermöglicht so niedrige Gesamtbetriebskosten. Das Gerät ist auch so konzipiert, dass es bei der Herstellung von Teilen mit engen geometrischen Toleranzen und gleichmäßigen Oberflächenbearbeitungen sehr effektiv ist. Abschließend ist EBARA FREX 300 S eine hochpräzise, energieeffiziente und kostengünstige Wahl zum Schleifen, Läppen und Polieren von Halbleiter- und optoelektronischen Komponenten. Seine Dual-Head-Fähigkeiten, Präzisionsmotoren und überlegene Oberflächenveredelungen machen es ideal für die Herstellung von hochwertigen und komplexen Komponenten in der Branche.
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