Gebraucht EBARA Frex 300S #9245371 zu verkaufen

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EBARA Frex 300S
Verkauft
ID: 9245371
CMP System (4) Heads (4) Chambers.
EBARA Frex 300S ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die präzise Oberflächenveredelung von Silizium und anderen elektronischen Materialien in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System wurde nach hohen Standards gebaut und entwickelt, um eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und einen hohen Durchsatz zu gewährleisten. Das Gerät bietet eine empfindliche Balance aus Schleifen, Läppen und Polieren, um die gewünschte Oberflächengenauigkeit, Oberflächenqualität und Geräteleistung zu erreichen. Die Maschine besteht aus einer Schleif-/Polierspindel, Läppvorrichtung, Läppplatte, Turbospinnplatten und einem Polierkopf. Die Spindel wird von einem Servomotor angetrieben, der eine präzise Drehzahl- und Drehmomentregelung ermöglicht. Die Läppvorrichtung ist so ausgelegt, dass sie das Material während des Schleifvorgangs sicher und im gewünschten Winkel hält. Die Läppplatte wird verwendet, um das Substrat gegen die Läppfläche zu halten, um eine gleichmäßige Oberflächenqualität zu gewährleisten. Die Turbo-Spin-Platten bieten Hochgeschwindigkeits-Polierfunktionen, die maximale Leistung ermöglichen. Der Polierkopf ist für eine Vielzahl von Materialien konzipiert und bietet eine feine Oberfläche auf empfindlichen Substraten. Das Werkzeug ist mit einer Reihe von benutzerfreundlichen Funktionen ausgestattet, die das Schleifen, Läppen und Polieren vereinfachen. Zu den Features gehören eine integrierte Überwachungs- und Steuereinrichtung, digitale Ausleseanzeige, Datenerfassung und optionale Laser-Interferometer-Messfunktionen. Das integrierte Überwachungs- und Regelungsmodell ermöglicht eine genaue Prozesssteuerung und optimale Prozesswiederholbarkeit. Die digitale Ausleseanzeige zeigt die nach Bedarf einstellbaren Prozessparameter grafisch an. Die Datenprotokollierung liefert eine genaue Aufzeichnung des Prozesses und kann zur Analyse und Verfeinerung zukünftiger Prozesse verwendet werden. Optionale Laser-Interferometer-Messfähigkeiten bieten überlegene Genauigkeit gegenüber manuellen Methoden. EBARA FREX300S ist das ideale Werkzeug für die hochpräzise Oberflächengüte, die für moderne Technologien erforderlich ist. Die Kombination aus leistungsstarken Schleif-, Läpp- und Polierfunktionen und benutzerfreundlichen Funktionen macht es zu einem unschätzbaren Werkzeug, um die Genauigkeit und Qualität zu erreichen, die für Halbleiter- und andere elektronische Komponenten erforderlich sind.
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