Gebraucht EBARA Frex 300S #9382430 zu verkaufen

ID: 9382430
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CMP System, 12" 2006 vintage.
EBARA Frex 300S ist eine fortschrittliche vertikale Spindel, Drehtisch Typ Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Ausrüstung. Dieses System wurde entwickelt, um präzise Oberflächengüte, Ebenheit und Rundheit auf Wafern mit bis zu 300mm Durchmesser effizient und präzise zu erreichen. Entworfen für die Prozessentwicklung und die Serienfertigung, ist das Gerät mit zwei Schleifen/Polieren automatisch durchquerende Tische, eine Schleifschlamm Liefermaschine, Keramik gebundene Gülle Applikationswerkzeug und eine Farbentfernung Asset ausgestattet. Alle diese Komponenten sind so konzipiert, dass sie zusammenarbeiten, um ein hochwertiges und konsistentes Finish zu erzeugen. Der systematische Ansatz beeinflusst das Gesamtmodelldesign. Die benutzerfreundliche SPS (Programmable Logic Controller) ermöglicht eine einfache Einrichtung und Messung. Seine ergonomische Konfiguration umfasst die kontrollierte Aufladung des Schleifschlamms und die schnelle hubverstellbare Drehung der Drehtische. Die Drehtische werden zur präzisen, wiederholbaren Prozesssteuerung von einem Schrittmotor angetrieben. Das Design des Drehtisches ermöglicht eine flexible Feinabstimmung, um die Anforderungen an die Substratform zu erfüllen. Außerdem sind sie durch die erweiterten Sicherheitsfunktionen vor Scheibenbruch geschützt. Die Schleifschlamm-Förderausrüstung sorgt für eine gleichmäßige Schleifschlamm-Zuführung zu jedem Wafer. Mit zwei keramisch gebundenen Aufschlämmungssystemen ermöglicht EBARA FREX300S die präzise Einstellung von Druck, Temperatur und Flüssigkeitszufuhr, um spezifische Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen. Das Farbstoffentfernungssystem bietet die Möglichkeit, Schleifmittel schnell zu wechseln, ohne dass der Rückstand manuell entriegelt werden muss. F-REX300S wird entwickelt, um überlegene Leistung und Genauigkeit bei den höchsten Serienarbeiten zu bieten. Das Gerät soll die Wahrscheinlichkeit einer Partikelverschmutzung reduzieren und eine gleichmäßige Oberflächengüte gewährleisten. Mit ihrem einfachen und zuverlässigen Design soll die Maschine eine konstant überlegene Waferoberflächenqualität bieten.
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