Gebraucht EBARA Frex 300S #9382436 zu verkaufen

ID: 9382436
Oxide CMP system, 12" EFEM.
EBARA Frex 300S ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für die Herstellung von hochpräzisen ebenen und gekrümmten Oberflächen auf Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es verfügt über ein Duell-Achsen-Design, das effektiv zweite harmonische Kontrolle in den Prozess kombiniert, was zu einer stark wiederholbaren Formgebung und Veredelungsgenauigkeit führt. Das System kann eine Vielzahl von Substraten aufnehmen, einschließlich Silizium und Galliumarsenid, von einzelnen Wafern bis zu einem Durchmesser von 450mm. Es basiert auf fortschrittlichen Technologien wie doppelseitigem Läppen, elektrochemischer Bearbeitung und modernster dynamischer Prozesssteuerung. Dies ermöglicht signifikante Verbesserungen der Oberflächenqualität, des Durchsatzes und der Produktivität. Das Gerät ist mit einem fortschrittlichen High Speed Schleifkopf ausgestattet, der es ermöglicht, schnell und präzise zu verarbeiten. Es kann durch eine breite Palette von Einstellungen eingestellt werden, einschließlich Tiefe und Kraft, Geschwindigkeit und Hubbegrenzung, für mehr Präzision und Kontrolle. Dadurch wird sichergestellt, dass stets die gewünschten und konsistenten Ergebnisse erzielt werden. Für Läpp- und Polierarbeiten ist EBARA FREX300S mit einem integrierten Harmonischen Drucker und einer Planarisierungsmaschine ausgestattet. Dieses leistungsstarke Werkzeug ist in der Lage, konsistente und genaue Oberflächen in kürzerer Zeit und mit weniger Iterationen zu erzeugen, was die Kosten und die Zeit der Produktion drastisch reduziert. Das Asset umfasst auch eine leistungsstarke Software-Schnittstelle, die es ermöglicht, einfach in andere Werkzeuge und Systeme integriert werden, was zu einer effizienten und schnelleren Produktion. Darüber hinaus umfasst F-REX300S eine Reihe von Mess- und Inspektionswerkzeugen wie ein Profilometer, ein Werkzeugreferenzmodell und einen Laserprofiler, die eine gründliche und genaue Inspektion ermöglichen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ausrüstung Qualitätsteile stets zeitnah herstellt. F REX 300 S ist ein fortschrittliches und leistungsstarkes System für die Herstellung von ultrapräzisen ebenen und gekrümmten Oberflächen auf Halbleiterscheiben. Es ist mit einem integrierten Harmonic Printer und Planarizing Unit und einem High Speed Schleifkopf für schnelle und präzise Leistung ausgestattet. Die Maschine umfasst auch eine Reihe von Mess- und Inspektionswerkzeugen, die sicherstellen, dass die Qualität der produzierten Teile konstant und zuverlässig ist. Dies ermöglicht eine höhere Effizienz und Genauigkeit im Produktionsprozess.
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