Gebraucht EBARA Frex 300S2 #9290831 zu verkaufen

EBARA Frex 300S2 ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für Wafer verschiedener Größen und gleichmäßiger Oberflächenebenheit ausgelegt ist. Es verfügt über ein dreiachsiges Vorausrichtungssystem zur genauen und wiederholbaren Ausrichtung von Wafern und eine hochpräzise lineare Motorzuführeinheit zur präzisen Positionierung von Waferkanten. Die Schleif- und Läppstufen nutzen eine Kombination aus präzisen Diamanträdern und Polierkissen, um die Waferoberfläche zu glätten und abzuflachen. EBARA F-REX300S2 ist mit einer verteilten Antriebsmaschine ausgestattet, die eine unabhängige Steuerung von Drehzahl, Neigung und Spindeldrehzahl ermöglicht, um je nach Anwendung den optimalen Prozess aufzunehmen. Um eine gleichmäßige Planheit des Wafers zu erhalten und Geschirr und Geschwätz zu reduzieren, wird ein fortgeschrittenes motorisiertes Vakuumklemmwerkzeug verwendet. Zu den weiteren Merkmalen von FREX-300 S2 gehören ein staubdichtes, luftgespültes Gehäuse, eine präzise Temperaturregelung, eine benutzerfreundliche grafische Touchscreen-Benutzeroberfläche und eine erweiterte Diagnose für eine erhöhte Prozesskontrolle. Darüber hinaus ist die Anlage für schnelles Be- und Entladen ausgelegt und bietet eine wiederholbare Inline-Verarbeitung von einzelnen und mehreren Wafern. Insgesamt ist F-REX300S2 eine ausgezeichnete Wahl für schnelles Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern aufgrund der Präzisionsbewegungssteuerung, des automatisierten Herstellungsprozesses und der präzisen Temperaturregelung. Mit hervorragenden Ergebnissen in Bezug auf Oberflächenebenheit und Wiederholbarkeit bietet FREX 300 S2 die für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen erforderliche Präzision und Flexibilität.