Gebraucht EBARA Frex 300S2 #9311211 zu verkaufen

EBARA Frex 300S2 ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage für die Bearbeitung von Scheiben von 75µm bis 10mm. Es ist für die Herstellung von flachen, mäanderförmigen oder gerillten Wafern mit einer hochpräzisen Toleranz von +/-2µm über die Waferoberfläche ausgelegt. Die Maschine verfügt über eine robuste Schleifspindel mit hoher Geschwindigkeit, kombiniert mit einem mehrlagigen Schwenktisch für präzise, wiederholbare Winkel von bis zu 180 °. Die Schleifzylinder sind in sich geschlossene Einheiten mit einem gleichmäßig entlang der Schleiffläche verteilten Diamantschlitz, der ein sehr genaues Schleifen mit glatten Kanten und sehr engen Toleranzen ermöglicht. Ein Laser-Encoder ist enthalten, um genaue Messungen der Waferlänge bereitzustellen und die Wafer-Levelness zu erhalten. Mit einer Reihe von Spindeldrehzahlen und Vorschubgeschwindigkeiten kann die Maschine Wafer von 75µm bis 10mm schleifen. Der Schleifvibrator ist auch verstellbar, um sich ändernde Schleifeigenschaften aufgrund der sich ändernden Härte des Wafers aufzunehmen. Die Läpp- und Polierkomponenten der Maschine ermöglichen höhere Wafertoleranzen von +/-2µm. Eine Reihe von Diamant- und Borcarbid-Schleifmitteln kann verwendet werden, um das erforderliche Finish zu erreichen. Ein automatisiertes Dosiersystem ist enthalten, um die richtigen Mengen an Schleifmittel mit variablen Drücken und Geschwindigkeiten genau zu dosieren, um das gewünschte Finish zu erreichen. Um Wiederholbarkeit und Einheitengenauigkeit zu gewährleisten, umfasst EBARA F-REX300S2 eine SPS-gesteuerte Maschine zusammen mit einem bordeigenen Prozessprotokoll sowie ein automatisches E-Stop-Werkzeug. Die Anlage wurde entwickelt, um den Eingriff des Betreibers zu reduzieren, mit einem eingebauten Modell, um sich für Ripple Schleifen und Fehler zu korrigieren. Die E-Stop-Ausrüstung ermöglicht es dem Bediener, die Maschine im Notfall sicher zu stoppen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie ein Bordrestreinigungssystem, einen automatischen Schutz von Teilen, die unbeabsichtigtem Abrieb ausgesetzt sind, und Funktionen zur Unfallverhütung. Insgesamt ist FREX-300 S2 eine hochentwickelte Maschine, die hervorragende Ergebnisse beim Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern liefert.