Gebraucht EBARA Frex 300S2 #9364498 zu verkaufen
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ID: 9364498
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
CMP System, 12"
Polisher:
(4) Turn tables
(4) Top rings (GX 8-Area)
(4) Scan dressers
(4) Atomizers
(2) Liner transportors
(2) Turn overs
STP
Controller
(4) Slurry scan nozzles
(4) Wafer slip out sensors
(2) Operation panels
Cleaner:
R/R With megasonic jet
R/R
2FJ
IPA/SRD
EFEM:
Dry robot
(4) Loadports
(2) Operation panels
ITM NOVA
Slurry nozzle motor type
Auto calibration
Options:
GX Carrier
Anti static material for wafer exposed surface
Eddy current end point monitor (R-ECM1D)
(2) ME-30 for S-OPM
TCM EPD Controller
Malema slurry flow controller
Light curtain for EFEM
Camera
2015 vintage.
EBARA Frex 300S2 ist eine Spitzenausrüstung zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, die präzise und wiederholbare Ergebnisse bei der Verarbeitung von High-End-Halbleiterwafern liefert. EBARA F-REX300S2 verwendet einen hochleistungsfähigen, dreiachsigen Bewegungsregler und einen Mikroschrittantrieb, der eine außerordentlich präzise Kontrolle des Schleif-, Läpp- und Polierprozesses ermöglicht und zu einer Qualität und Wiederholbarkeit führt, die mit herkömmlichen Systemen nur schwer zu erreichen ist. FREX-300 S2 verfügt über eine 300mm (12 ") Platte Design bietet eine große Prozessfläche für den Abrieb von Wafern oder dünnen Substraten. Es verfügt auch über einen leistungsstarken 400W Spindelmotor, der ein hohes Drehmoment für die Feinbearbeitung bietet. Das Spindelriemenantriebssystem ermöglicht eine Präzision von 0,01 μ m, während die Power Assist-Technologie und eine Computer Numerical Control (CNC) -Einheit eine außergewöhnliche Genauigkeit auch bei Geschwindigkeit ermöglichen. FREX 300 S2 ist für einfache Wartung und Bedienung entwickelt. Es verfügt über eine programmierbare hierarchische Maschine, die eine einfache Anpassung und effiziente Bedienung ermöglicht. Die Maschine hat eine robuste und starre Konstruktion, die Vibrationen minimiert, ohne die Genauigkeit zu beeinträchtigen. Darüber hinaus ermöglicht das Design einen schnellen und einfachen Zugriff auf alle Komponenten und macht die Wartung und Einrichtung zu einem schnellen und bequemen Prozess. EBARA FREX-300 S2 verfügt zudem über ein hochmodernes Sicherheitswerkzeug. Es enthält eine Spritzkammer und zentrale Luftsteuerventile, die Bedienereingänge reduzieren und die Bedienung erleichtern. Die optionale RC-Lastüberwachung stellt sicher, dass Aufgaben überwacht und gesteuert werden, wodurch Schäden oder Fehlfunktionen vermieden werden, die zu Defekten oder unebenen Oberflächen führen können. Abschließend stellt F-REX300S2 den Stand der Technik in Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystemen dar. Die fortschrittlichen Funktionen und das intuitive Design bieten die Genauigkeit und Präzision, die für die Herstellung von High-End-Halbleiterscheiben erforderlich sind, sowie eine sichere und zuverlässige Benutzererfahrung. Mit seiner beispiellosen Leistung, Zuverlässigkeit und benutzerfreundlichen Eigenschaften ist EBARA FREX 300 S2 eine ideale Wahl für jeden Hersteller, der eine effiziente, zuverlässige und wiederholbare Produktion sucht.
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