Gebraucht EBARA Frex 300S2 #9364502 zu verkaufen

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ID: 9364502
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
CMP System, 12" Polisher: (4) Turn tables (4) Top rings (GX 8-Area) (4) Scan dressers (4) Atomizers (2) Liner transportors (2) Turn overs STP Controller (4) Slurry scan nozzles (4) Wafer slip out sensors (2) Operation panels Cleaner: R/R With megasonic jet (2) R/R IPA/SRD EFEM: Dry robot (4) Loadports (2) Operation panels ITM NOVA Slurry nozzle motor type Auto Calibration Options: GX Carrier Anti static material for wafer exposed surface Eddy current end point monitor (R-ECM1D) (2) ME-30 for S-OPM TCM EPD Controller Malema slurry flow controller Light curtain for EFEM Camera 2015 vintage.
EBARA Frex 300S2 ist eine fortschrittliche multifunktionale Präzisions-Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung zur Herstellung von hochpräzisen, hochwertigen Wafern. Es verfügt über einen patentierten dreiseitigen Polierkopf, der Niederdruckluftschleifen verwendet, um Oberflächenunregelmäßigkeiten zu beseitigen, Täler zu vertiefen und ebene Oberflächen aufzurauhen. Das System verfügt auch über einen luftangetriebenen Schleifkopf, der Wafergrößen bis 200 mm handhaben kann und bis zu einer Ebenheit von weniger als 5 μ m/ μ m polieren kann. EBARA F-REX300S2 verfügt über eine integrierte Zweiband-Läppeinheit mit jeweils anpassbarer Oberfläche. Die Läppbänder sind elektrogeformte Titanplatten, die über die Polier- und Schleifflächen gespannt werden, um eine gleichmäßige Oberfläche zu erzielen. Das Riemendesign ermöglicht auch eine deutlich erhöhte Einsatzfrequenz bei Temperaturen bis 600 ° C, was ein höheres Effizienzlappen und Polieren ermöglicht. FREX-300 S2 beinhaltet auch eine Fernbedienungsmaschine, mit der Bediener die Schleif- und Läppmaschine bequem aus der Ferne bedienen können. Dies ist besonders vorteilhaft bei großen Wafern, die aufgrund ihrer Größe oder Komplexität mehrere Durchgänge erfordern. Dieses Tool ermöglicht es dem Bediener auch, Parameter anzupassen, um eine höhere Genauigkeit wie Geschwindigkeit, Vorschubtiefe und Kapazität zu erzielen, ohne jeden Parameter manuell einstellen zu müssen. Die Anlage ist einfach zu bedienen und zu warten, und umfasst eine automatisierte Modellsteuerungsausrüstung, um Bediener zu warnen, wenn Schleifen oder Läppen Anpassungen erforderlich sind. Die Software bietet auch Echtzeit-Prozessüberwachung, so dass FREX 300 S2 effizienter und einfach zu bedienen. Insgesamt ist EBARA FREX 300 S2 eine ideale Wahl für diejenigen, die höchste Präzision und Qualität beim Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern erreichen möchten. Mit seinen robusten Merkmalen bietet es eine effiziente und kostengünstige Lösung für die Präzisionsscheibenherstellung. EBARA FREX-300 S2 ist die perfekte Wahl für diejenigen, die höchste Standards in der Waferbearbeitung erreichen möchten.
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