Gebraucht EBARA Frex 300SII #9244830 zu verkaufen
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ID: 9244830
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
CMP System, 12"
Process: Cu
Hirata
(3) Loadports
(2) G3 Heads
RECM
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
Nano 9010b
2009 vintage.
EBARA Frex 300SII ist eine leistungsstarke und präzise Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es ist für die Bearbeitung von Wafern bis 300mm Durchmesser mit minimalem Eingriff des Bedieners ausgelegt. EBARA FREX 300 SII nutzt ein integriertes, hochpräzises Spindelsystem. Diese Spindeleinheit (5-Achs-Linearmotor, kleine Nickkugelspindel, Wirbelstrombremse und Encoder mit Luftlager) bietet bis zu 10 Mikroschrittgenauigkeiten für überlegene Oberflächenveredelung und außergewöhnliche Oberflächenplanheit. Die Maschine verfügt zudem über einen dreistufigen Läppprozess. Zunächst wird der Wafer einer Halbleiter-Wafer-Planarisierung unterzogen. Dieser Prozess reduziert die topographischen Schwankungen im Wafer und erzeugt eine ebene Oberfläche. Als nächstes wird der Wafer geschliffen, um Defekte wie zufällige Kantensplitterungen, Partikel und Unregelmäßigkeiten zu entfernen. Schließlich wird der Wafer poliert, um ein besseres Finish zu erreichen. Der Läppprozess führt zu einer verbesserten messtechnischen Genauigkeit und einem höheren Durchsatz. Das Tool bietet darüber hinaus eine breite Palette von optionalen Funktionen. Die proprietäre CFK-Basis sorgt für Vibrationsdämpfung und eine höhere Dimensionsstabilität, was zu glatteren und genaueren Rotationsbewegungen führt. Eine Flüssigkeitsluftkühlung hilft dabei, Wärme abzuführen, die beim Mahlen und Polieren entsteht. Das Modell bietet auch eine erweiterte Palette von Verbrauchs- und Ersatzteile-Optionen, so dass Benutzer die Ausrüstung an ihre speziellen Anwendungsbedürfnisse anpassen können. Schließlich bietet das System ein erstklassiges Spektrum an Sicherheitsmerkmalen, darunter einen Näherungssensor und einen Not-Aus-Schalter. Der Näherungssensor erkennt das Vorhandensein eines Bedieners in der Nähe, während der Not-Aus-Schalter es dem Benutzer ermöglicht, den Betrieb bei einem unerwarteten Unfall oder Notfall schnell zu beenden. Insgesamt ist FREX 300-SII eine unglaublich robuste und präzise Schleif-, Läpp- und Poliereinheit. Es bietet ein unübertroffenes Maß an Genauigkeit und Präzision sowie eine breite Palette an Sicherheitsmerkmalen, um ein sicheres und effizientes Waferbearbeitungserlebnis zu gewährleisten.
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