Gebraucht EFTY LGP-15S-I #9263631 zu verkaufen
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ID: 9263631
Weinlese: 2012
Single side polisher
Desktop type
Ceramic surface plate: φ380
Manual included
2012 vintage.
EFTY LGP-15S-I ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Diese vollautomatisierte Maschine verfügt über eine Gesamtverarbeitungskapazität von bis zu 575 (Standardwafergröße) Wafern pro Stunde und bietet eine überlegene Prozesssteuerung und eine hohe Konsistenz. Das System verfügt über eine beeindruckende Wafer-Handhabungseinheit, bei der zunächst ein einzelner Wafer gemessen und ausgerichtet wird, bevor er auf eine einzige Schleifscheibe geladen wird, die für die jeweils zu verwendende Formel geeignet ist. Die Schleifscheibe wird dann auf die genauen Parameter eingestellt, die erforderlich sind, um die erforderliche Waferdicke zu erreichen und die Oberflächentopographie den gewünschten Vorgaben anzupassen. Mit einem fortgeschrittenen Läppverfahren durchläuft der Wafer dann zwei rotierende Diamantlappen zur präzisen Oberflächenglättung. Eine Reihe von unabhängigen Bürstenstationen werden verwendet, um Fertigungsschutt ordnungsgemäß zu kanalisieren und zu reinigen und gleichzeitig den maximalen Oberflächenkontakt für den Läppvorgang zu gewährleisten. Schließlich wird das Polieren mit einer Reihe fortschreitend feinerer Diamantpolierer und glatter Stoffschleifbürsten durchgeführt. Dadurch wird sichergestellt, dass die Waferoberfläche gleichmäßig, hochreflektierend und frei von Partikeln ist. LGP-15S-I verfügt zudem über eine leistungsstarke und einfach zu bedienende Steuerschnittstelle. Mit dieser Vorrichtung lassen sich Prozesse zum Schneiden, Schleifen und Polieren schnell einrichten und effizient steuern. Auf diese Weise können Bediener auch größere Mengen an Prozessdaten verwalten und Parameter und Einstellungen einfach ändern. Die Maschine verfügt auch über eine schnelle und effiziente Kühlmaschine, die entwickelt wurde, um Wafer gleichmäßig zu kühlen, während sie beschäftigt sind. Insgesamt ist EFTY LGP-15S-I ein Top-Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das Genauigkeit und Konsistenz sowie Effizienz und Zuverlässigkeit bietet. Mit seinen fortschrittlichen Design- und Automatisierungsfunktionen ist es die Lösung der Wahl für viele Halbleiterunternehmen geworden.
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