Gebraucht ENGIS EJW-460IS #9181283 zu verkaufen
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ID: 9181283
Lapping system
Plate size: φ460×φ180
(2) rings
Force drive
Planetary motion
Polish plate.
ENGIS EJW-460IS ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die präzise, ultraglatte Oberflächen für zerbrechliche Halbleitermaterialien wie Silizium und Germanium bereitstellt. Diese vielseitige Maschine bietet Platz für bis zu 8 "-Wafer in ihrer fünfachsigen Stufe und ermöglicht eine gleichzeitige Geschwindigkeits- und Beschleunigungsregelung. Das System ist in der Lage, präzise Ergebnisse durch seine effektive Kombination aus offener hydrostatischer Lagertechnologie, Rückkopplungssteuereinheit und Hochleistungs-DC-Servomotor zu erzielen - die alle ein konsistentes Maß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Die Maschine ist mit einem integrierten Bedienfeld für einfachen rollenbasierten Zugriff konzipiert, so dass der Bediener kritische Parameter wie Druck, Geschwindigkeit, Strom und Produktkompensation schnell anpassen und überwachen kann. EJW-460IS ist auch mit einer detaillierten, grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet, die detaillierte Bilder der Werkstücke anzeigt, um eine korrekte Positionierung auf der Bühne zu gewährleisten. ENGIS einzigartige Schleifschlämmen - Slurrygrind und Slurrypolish - sind speziell für die Herstellung hochwertiger Waferoberflächen konzipiert und in einer Reihe von Schleifgrößen von 0,05 bis 3 μ m erhältlich. Diese Güllelösungen können automatisch mit der automatisierten Abgabemaschine von ENGIS EJW-460IS entfallen und mit anderen Güllekombinationen für verschiedenste Prozesse kombiniert werden. Neben der Gülleabgabe kann das Werkzeug mit einer Vielzahl von verbrauchbaren Zubehörmodulen wie Vakuumfutter, MIRrorMATE-Profiler, Laserinterferometer und Quarzdruckkammer ausgestattet werden. Diese Module sind zusammen mit der Standardspindel so konzipiert, dass sie dem Bediener die Flexibilität bieten, die höchste erreichbare Oberflächenebene auf Wafern mit minimaler Ausgasung zu erzielen und eine perfekte, ultraglatte Oberfläche zu gewährleisten. Um den sicheren Betrieb von EJW-460IS zu gewährleisten, ist das Gerät auch mit Funktionen wie mehreren Sicherheitssensoren und Verriegelungen zum Schutz der Maschine und der Werkstücke ausgelegt. Darüber hinaus verfügt die Maschine über zwei Betriebsarten für Komfort und Vielseitigkeit, so dass der Bediener zwischen manuellem oder automatischem Betrieb wählen kann. ENGIS EJW-460IS ist die perfekte Wahl für diejenigen, die eine präzise Oberfläche auf komplexen Materialien wie Halbleitern erreichen möchten. Diese vielseitige und zuverlässige Maschine bietet sicherlich höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit sowie eine Reihe von Zubehörmodulen, um die besten Ergebnisse zu erzielen.
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