Gebraucht GATAN / SAGITTA Gemini CX #9131544 zu verkaufen

ID: 9131544
Weinlese: 2002
System 2002 vintage.
GATAN/SAGITTA Gemini CX ist eine Kombination aus einer Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es ist speziell für einen einzelnen Waferprozess ausgelegt. Dieses System ist mehrstufig und erfordert fünf separate Teile, um den Prozess abzuschließen. Der erste Schritt ist das Wafermahlen mit Diamantschleifmedien. Dies verwendet eine Schleifwirkung, um die Korngröße zu reduzieren und eine gleichmäßige Oberflächengüte zu gewährleisten. Der zweite Schritt ist das Läppen mit einem Niederdruck-Aufbringen von Diamant-Läppmedien, die die Oberfläche poliert und glättet, ohne die Ebenheit oder Form zu verändern. Der dritte Schritt ist das Polieren. Dabei wird eine abrasive Aufschlämmung verwendet, um die Oberflächenrauhigkeit zu reduzieren und eine planarisierte Oberfläche zu erzeugen. Der vierte Schritt ist das Läppen mit einem höheren Druck auf Diamantlappmedien, die die Oberflächengleichförmigkeit verfeinern. Der fünfte und letzte Schritt ist das chemisch-mechanische Polieren, bei dem eine aktive chemische Lösung verwendet wird. Dieser Schritt reinigt die Oberfläche, reduziert die Polierzeit und erzeugt dielektrische Schichten, die den Wafer für Halbleiterbauelemente geeignet machen. Die Hauptkomponenten der GATAN Gemini CX Einheit sind die Schleif-/Poliereinheit, die elektromechanische Bewegung und halbautomatische Steuerungen. Die Schleif-/Poliereinheit kann jeweils einen Wafer halten und bearbeiten. Es ist mit einem Wafer-Futter, Pad-Halter und Diamant abrasive Medien ausgestattet. Die elektromechanische Bewegung erfolgt durch Schrittmotoren und die Maschine wird durch einen Mikroprozessor gesteuert. Dies ermöglicht eine präzise Bewegung und Ausrichtung des Wafers sowie eine genaue Steuerung der Spinngeschwindigkeit und des Druckes. Die Steuerelemente geben Feedback zum Prozess und bieten Benutzereingabeoptionen zur Steuerung von Variablen und Parametern. Dieses Tool kann auch automatisierte Prozesse ausführen und voreingestellte Parameter verwenden, um einen Wafer automatisch zu schleifen und zu polieren. SAGITTA Gemini CX Asset ist ein kostengünstiges Schleif-, Läpp- und Poliermodell, das in der Lage ist, hervorragende Ergebnisse zu erzielen. Es ist für den Einsatz in einem Einzelwaferbetrieb konzipiert und hochautomatisiert. Es ist mit Hochleistungskonstruktion gebaut und verfügt über eine Vielzahl von Funktionen entworfen, um Genauigkeit und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Seine automatisierten Prozesse sind einfach zu bedienen, und es kann verwendet werden, um eine Reihe von Geschwindigkeiten und Drücken für verschiedene Oberflächenanforderungen zu erreichen.
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