Gebraucht GIGAMAT 3826 #9143786 zu verkaufen

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ID: 9143786
Spare parts: (17) Wafer template for 8" (9) Wafer template for 4" (191) Insert for 3" wafer (163) Insert for 6" wafer (40) Insert for 8" wafer (4) Red shims for 3" wafer (1193) Red shims for 2" wafer (219) Red shims for 4" wafer (123) Red shims for 8" wafer (86) Yellow shims for 8" wafer (28) Green shims for 8" wafer (28) Transparent shims for 8" wafer (45) Green shims for 8" wafer (19) Transparent shims for 4" wafer (19) Yellow shims for 4" wafer (6) White shims for 6" wafer (21) Transparent shims for 6" wafer (77) Filter bag (46) Yellow shims for 6" wafer (8) Red shims for 6" wafer.
GIGAMAT 3826 ist eine leistungsstarke Schleif-, Läpp- und Polieranlage für Halbleiteranwendungen. Im Kern von 3826 ist ein LoadLock Kassettenlader mit einer Schleif-Lasp-Pol-Plattform verbunden, die leistungsstarke Schleif- und Polierköpfe beherbergt. Dieses Setup bietet schnelles Be- und Entladen von Proben sowie eine hohe Mikroveredelungsfähigkeit. Fortschrittliche Wafer-Klemm- und Antriebssysteme sorgen für zuverlässiges Schleifen und Polieren mit präziser Kontrolle über sie. Das hohe Maß an Kontrolle und Präzision in Kombination mit der neuesten variablen Frequenzantriebstechnologie ermöglicht GIGAMAT 3826 optimale Oberflächenergebnisse. Damit ist sie die perfekte Wahl für empfindliche Waferproduktionsanwendungen. Die Schleifköpfe werden von bürstenlosen 6,6 kW Motoren angetrieben und verfügen über erweiterte Spindelsteifigkeit und Vibrationsdämpfung für hohe Präzision und Wiederholbarkeit. Optional ist auch ein DC 6,6 kW Turbomotor für maximale Schleifleistung erhältlich. Das System verfügt auch über eine geringe Trägheit Rapid Change Unit (RCS) für den schnellen Werkzeugwechsel und eine Pulverrückführungsmaschine (PRS) für eine effiziente Schleifstaubsammlung. 3826 Läpp- und Polierplattform verfügt über zwei Ultraschall-Läppköpfe, die bis zu 5kHz Amplitude aufweisen und bis zu 12 kHz verstellbar sind. Der leistungsstarke 75HP Wechselstrom-Servomotor ist integriert, um das Läppwerkzeug in einer präzisen Kreisbewegung anzutreiben und bietet überlegene Konsistenz in Mehrfachlappprozessen. Ein erweitertes Steuerungstool sorgt für wiederholbare Ergebnisse. Zum Polieren wird GIGAMAT 3826 mit einer innovativen Druckkontrolle ausgestattet. Das Modell erzeugt einen perfekt gleichmäßigen Druck an der Probe mit einer patentierten Dreipunktstütze, die Druckbereiche von 5g bis 500g aufrechterhalten kann. Ein intelligentes Steuerungssystem passt den Druck an die Probe an, basierend auf Größe, Form, Oberflächenbeschaffenheit und Material. 3826 ist eine zuverlässige, leistungsstarke Schleif-, Läpp- und Poliereinheit für die härtesten Halbleiteranwendungen. Seine fortschrittlichen Antriebs- und Steuerungssysteme sorgen für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Die Druckregelmaschine sorgt für gleichmäßigen Polierdruck bei gleichbleibender Oberflächengüte. Damit ist sie die ideale Wahl für die anspruchsvollsten Produktionsprozesse.
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