Gebraucht HAMAI 16B-5P #9073248 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9073248
Weinlese: 2007
Double-side polisher
(4) Motors
Stainless steel plates
Not included: dressing carriers, slurry tank
2007 vintage.
HAMAI 16B-5P ist eine hochgenaue Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für höchste Oberflächengüte und Ebenheit von Halbleiterwafern entwickelt wurde. Dieses System bietet zwei modulare Konfigurationen. 16B-5P-SG ist für Standard-Wafer-Schleif- und Polierprozesse konzipiert, während HAMAI 16B-5P-HG hochwertiges hochpräzises Schleifen und Polieren bietet. Diese Einheit wurde entwickelt, um den Produktionsdurchsatz zu maximieren und gleichzeitig Verschmutzungen und Variationen zu minimieren. 16B-5P verfügt über eine fünfteilige Kassettenmaschine, die einen effizienten und kontaminationsfreien Waferaustausch ermöglicht. Mehrere Polier- und Schleifscheiben sind für eine Vielzahl von Prozessanwendungen verfügbar. Diese Scheiben sind leicht zu wechseln, und das Werkzeug kann vollständig für die Serienfertigung automatisiert werden. HAMAI 16B-5P verwendet einen hochpräzisen SCARA Roboterarm, der eine präzise Bewegungssteuerung der Schleif-/Polierscheibe ermöglicht. The16B-5P verfügt auch über ein einzigartiges Mittel zum Be- und Entladen von Wafern, was manuelle Eingriffe überflüssig macht. 16B-5P ist eine vollständig geschlossene Anlage mit einem Hochleistungs-Abgasmodell, um eine saubere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Das Gehäuse ist mit einem Filter und einer Vakuumausrüstung ausgestattet, um Schutt zu entfernen. Dieses System ist in der Lage, geschliffene und polierte Wafer mit überlegener Oberflächengüte und Ebenheit zu produzieren. Es ist auch in der Lage, Wafer mit bis zu 8 Mikron RMS-Finish zu produzieren. HAMAI 16B-5P ist mit extremer Schwingungsisolierung ausgestattet, um die Chancen auf Waferbruch zu reduzieren und geringe Geräusche in das Gerät einzubringen. Die Maschine ist auch mit mechanischem Schutz für die Wafer ausgelegt, um versehentliche Beschädigungen zu verhindern. Das Tool ist mit einem Datenlogging-Asset ausgestattet, mit dem Sie das Waferprofil und die Prozessparameter in Echtzeit überwachen können. Es bietet auch eine leicht lesbare grafische Oberfläche zur Überwachung und Steuerung der Funktionen des Modells. Dieses Gerät verfügt auch über ein einzigartiges automatisiertes Wafer-Tracking-System, das die Position des Wafers auf optimale Prozessfähigkeit überwachen kann. 16B-5P bietet ein zuverlässiges, hochpräzises und verschmutzungsfreies Verfahren zur Herstellung hochwertiger Halbleiterscheiben. Dieses Gerät ist in der Lage, Wafer mit überlegener Oberflächengüte und Ebenheit zu produzieren und ist für maximale Produktivität und Durchsatz ausgelegt.
Es liegen noch keine Bewertungen vor