Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191766 zu verkaufen

ID: 9191766
Wafergröße: 8"
STI Oxice CMP system, 8" Currently installed.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M ist ein leistungsstarkes Schleif-, Läpp- und Poliersystem für Anwendungen mit hohem Durchsatz und Präzision. Es hat ein robustes und zuverlässiges Design und verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, wie automatische Diamantkommoden und automatische Prozesskontrollsysteme. IPEC 372M Maschine kommt mit variabler Spindelgeschwindigkeit und variabler Diamantraddrehung, die eine präzise Kontrolle über Waferschleif- und Poliervorgänge ermöglicht. Die Maschine kann manuell oder automatisch bedient werden und verfügt über ein intuitives HMI für einfache Einrichtung und Bedienung. Die integrierte automatische Diamantkommode ist in der Lage, die Schleifscheibe bei Bedarf abzuziehen. Die automatische Prozesssteuerung überwacht und passt das System kontinuierlich an und ermöglicht präzise und konsistente Ergebnisse. Der Wafer-Schleifkopf hat eine maximale Vorschubgeschwindigkeit von 2000 mm/min und ist zum Schleifen von Dünnfilmschichten und Oberflächenmerkmalen mit hoher Reproduzierbarkeit ausgelegt. Es hat einen einstellbaren Hubanschlag zur Verhinderung von Über- oder Unterschleifen von Schichten. Der integrierte Wafer Polierkopf hat eine maximale Polierrate von 4000 mm/min und ist ideal für die Kantenrundung und Oberflächenveredelung. Es kann auch zum spiegelartigen Polieren auf ähnlich dünnen Schichten verwendet werden. Neben dem Waferschleifen und Polieren kann WESTECH 372M Maschine auch für Läppoperationen eingesetzt werden. Es kommt mit einem rotierenden Tisch und verstellbaren Anschlägen, die eine präzise Rundentiefenkontrolle sowie einen mechanischen Antrieb für hohe Schnittgenauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglichen. Aufgrund seiner robusten Konstruktion und umfassenden Eigenschaften ist 372M in der Lage, rauen Produktionsumgebungen standzuhalten und eignet sich besonders für Anwendungen wie Halbleiterherstellung, Wafer-Rückenschleifen und andere hochpräzise Industriebetriebe.
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