Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9210304 zu verkaufen

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die den Bedürfnissen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses System wurde für hohe Genauigkeit, hohe Produktivität und niedrige Betriebskosten entwickelt. Es enthält einen automatischen Waferwechsler, eine CCD-Oberflächenprofilmessung und einen Mehrspindelschleif-/Polierkopf, um Zykluszeiten zu reduzieren und die Leistung der Einheit zu maximieren. Die IPEC 472 besteht aus einem einzigen Gehäuse mit drei Bearbeitungsstationen und einer Maschinensteuerung. Die Stationen umfassen Schleif-/Polierstation, Läppstation und eine optionale zusätzliche Bearbeitungsstation oder eine Inspektionsstation. Die Schleif-/Polierstation kann bis zu acht Bearbeitungsköpfe aufnehmen und verwendet ein CCD-automatisiertes Oberflächenprofilierungswerkzeug, um den Schleif-/Polierprozess für beste Leistung zu überwachen und anzupassen. Mit der Schleif-/Polierstation ist eine Diamant-Dispense-Anlage für eine schnelle und präzise Diamantanwendung integriert, ohne dass der Bediener über den Prozess eingreift. Die Läppstation ist mit bis zu drei verstellbaren Läppköpfen ausgestattet, mit denen je nach Anwendungsanforderung die gewünschte Planheit, Glätte und Oberflächenprofil erreicht werden. Die Läppstation enthält außerdem eine Partikelgröße und einen Vibrationsabscheider zur schnellen und effizienten Trennung von Diamantschlammpartikeln. Die optionale Zusatzstation oder Inspektionsstation ist mit einem Mikroskop zur visuellen Inspektionsfähigkeit und einem Laserinterferometer zur genauen berührungslosen Messung und Rückmeldung von Prozessergebnissen und/oder Online-Steuerung des Prozesses ausgestattet. Verschiedene Funktionen sind in WESTECH 472 enthalten, um einen maximalen Modelldurchsatz und Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. Die proprietäre Prozesssteuerungsarchitektur bietet Präzisionsprozesssteuerung einschließlich Spindeldrehzahl, Druck und Timing. Ein teleskopischer Waferlader ermöglicht das vollautomatische Be- und Entladen des Wafers direkt in die Auslieferungsausrüstung der Maschine. Der Versorgungsschrank bietet saubere und trockene Druckluft- und Kühlwasserfilteranlage. Außerdem hilft eine Vakuumfiltrationseinheit, einen geschlossenen Schleifenprozess aufrechtzuerhalten, um gefährliche Staubverunreinigungen und die Exposition des Bedieners zu verringern. Insgesamt ist SPEEDFAM 472 eine zuverlässige und produktive Maschine, die Teil einer Maschinenfamilie ist, die auf höchste Genauigkeit, Effizienz und Ausbeute beim Waferschleifen, Läppen und Polieren ausgelegt ist. Dieses Werkzeug eignet sich für komplexe Waferschleif-, Läpp- und Polieranwendungen und ist ideal für Hersteller, die einen hohen Durchsatz, niedrige Betriebskosten und eine niedrige ppm-Verarbeitung suchen.