Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9230899 zu verkaufen

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9230899
Wafergröße: 6"
CMP Polishers, 6".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 ist eine Schleif-, Läpp- und Polieranlage für die Herstellung von Halbleiterscheiben. Es ist speziell für die zuverlässige und präzise Herstellung von hochwertigen Wafern in einem kontinuierlichen Fließprozess konzipiert. Das IPEC 472 System verfügt über eine vollautomatische Rüst- und Bediensteuerung, eine proprietäre CNC (Computer Numerical Control) Bewegungssteuerung für präzise Bewegung und hohe Genauigkeit sowie eine patentierte hochauflösende Messtechnik zur automatisierten Selbstüberwachung und Selbstabstimmung des Schleif- und Poliervorgangs. Das Werkzeug wurde so effizient wie möglich konzipiert, um Zeit und Kosten zu optimieren. Die Anlage besteht aus einem Haupt-Produktionsturm, in dem Wafer beladen, geschliffen, geläppt und poliert werden. Der Turm wird durch eine 6-Achsen-CNC-Maschine mit hohem Drehmoment gesteuert, die Geschwindigkeit, Druck, Neigung und Tiefe des Schleifens sowie variable Läpp- und Polierparameter einstellen kann. Die Schleif- und Polierstufen können für unterschiedliche Produktanforderungen leicht modifiziert werden. Es gibt eine unabhängige Seitenverschiebevorrichtung zur einfachen Orientierung des zu bearbeitenden Wafers an jedem Schleifkopf und einen Kipp- und Drehriementrieb, um einen ordnungsgemäßen Kontakt zwischen Schleif- und Polierflächen zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine vollautomatische Diamant-Läpp- und Polierstation mit voll programmierbaren und einstellbaren Spinngeschwindigkeiten. Das Gerät umfasst auch ein proprietäres hochauflösendes Messsystem zur Messung der Wafer während des Schleif- und Polierprozesses. Diese Maßnahme kann verwendet werden, um Echtzeit-Feedback über die Qualität des Schleif- und Polierauftrags zu geben, so dass eine automatische Selbstabstimmung möglich ist. Dadurch werden die hohen Qualitätsstandards für die Herstellung von Hochleistungswafern gewährleistet. Darüber hinaus verfügt WESTECH 472 auch über eine leistungsstarke Off-Board-Kühler und Pumpmaschine, um Geräusche und Vibrationen zu reduzieren, so dass es für den Einsatz in Reinraumumgebungen geeignet ist. 472 ist ideal für die Herstellung von Halbleiterscheiben und bietet maximale Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Kosteneffizienz. Mit seiner einfach zu bedienenden programmierbaren Automatisierung, kombiniert mit seiner fortschrittlichen Messtechnik und Messfunktionen, bietet es die perfekte Lösung für die Herstellung von hochwertigen, leistungsstarken Wafern.
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