Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9242698 zu verkaufen

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9242698
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
CMP Polisher, 8" 1998 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die hochpräzise Oberflächenveredelung von Halbleiterwafern entwickelt wurde. Angetrieben von einem 300-PS-Motor, IPEC 472 verfügt über eine universelle Antriebsplatte, die mit einer Vielzahl von Platten verwendet werden kann, einschließlich Drehschleifen und Läppplatten, oder lineare Läpp- und Polierplatten. Das System verfügt über vier unabhängige Werkstücke, die das gleichzeitige Schleifen, Läppen und Polieren mehrerer Wafer ermöglichen. Die Einheit verfügt über mehrere Schleifmodi, einschließlich hin- und hergehendes Schleifen, Tauchschleifen und Kriechschleifen. Das hin- und hergehende Schleifen wird verwendet, um Oberflächenmaterial mit einer festen Vorschubgeschwindigkeit für eine hervorragende Oberflächengüte vorsichtig abzuschleifen. Ein Tauchschleifmodus ermöglicht das Schleifen bis zu einer bestimmten Tiefe. Die Kriechfutterschleifmethode wird für die Verarbeitung großer Teile mit hohem Volumen verwendet, was eine schnelle Stoffentfernung ermöglicht und gleichzeitig eine hervorragende Oberflächengüte gewährleistet. Auch durch den Einsatz einer Hochdruckkühlmittelmaschine lassen sich hohe Abtragsraten erzielen. Die Läppfunktionen von WESTECH 472 werden durch sein elektronisches Verschiebewerkzeug verbessert, das den Druck der Rundenplatte kontinuierlich überwacht und anpasst, um eine maximale Oberflächengüte zu gewährleisten. Diese Anlage kann mit elektrostatischen Spannfuttern für nichtmagnetische Bauelemente oder mit Vakuumspannfutter für magnetische Bauelemente verwendet werden. Die letzte Stufe von SPEEDFAM 472 ist der Polierprozess, der rezirkulierende Vibrationsmedien verwendet, um ultraglatte Oberflächen zu erzielen. Die Steuerung der Vibrationsmedien erfolgt über einen patentierten Servo-Motion-Controller, der eine maximale Genauigkeit und Reproduzierbarkeit über mehrere Teile gewährleistet. Die Steuerung weist außerdem ein optisches Emissionsmodell auf, das detaillierte Inspektionen des Wafers ermöglicht. 472 ist die perfekte Lösung zum Schleifen, Läppen und Polieren von hochpräzisen Oberflächen auf Halbleiterwafern. Seine leistungsstarken Motoren, seine vielseitigen Schleif- und Läppmodi sowie seine präzisen Polierfunktionen machen ihn zu einer idealen Wahl für anspruchsvolle Anwendungen.
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