Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Auriga #141543 zu verkaufen
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ID: 141543
CMP system
Specifications:
2-Table, 5-carrier platform
Precision automation
Upgradable with advanced carrier technology for 3mm edge exclusion
Dry-in, wet-out format provides maximum tool flexibility
ViPRR multizone carrier.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Auriga ist eine Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für Präzisionsschleif- und Polieranwendungen in der Halbleiter-, MEM- und optoelektronischen Industrie. Sein Hauptziel ist es, Oberflächen und Geometrien von Bauteilen für eine Vielzahl von verschiedenen Anwendungen zu verbessern. IPEC Auriga verwendet ein Dual-Spin-Lapping/Polieren-Verfahren mit zwei getrennten Schleifköpfen zum gleichzeitigen Schleifen und Polieren für erhöhten Durchsatz und einfache Bedienung. Jeder Schleifkopf verfügt über ein Scheibenfutter und eine Vorrichtung, die für bestimmte Durchmesser und Steigungen voreingestellt werden kann und für schnelles und präzises Schleifen und Polieren ausgelegt ist. In das Gerät sind ein automatisches Ausgabesystem und ein zweiachsiger, vierstufiger Antrieb integriert. WESTECH Auriga ist mit einer automatisierten, mehrachsigen Bewegungssteuermaschine ausgestattet, die sowohl lineare als auch 3D/rotary Scans umfasst, die eine präzise Kontrolle über die Schleif- und Polierprozesse bietet und es in der Lage macht, hochpräzise, kostengünstige optische und Oberflächenregelmäßigkeitsteile herzustellen. Das patentierte 3D-Scan-Tool verfügt über einen hochauflösenden Positionsgeber und eine Steuerungssoftware, um wiederholbare, präzise und kontrollierte Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ist Auriga Asset mit einem geschlossenen Druck-, Schmierstoff- und Flüssigkeitstemperaturregelungsmodell ausgestattet, das konsistente, genaue, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse von Teil zu Teil liefert. Die Ausrüstung bietet auch eine Echtzeit-Rückkopplung des Schleif- und Polierdrucks sowie die Überwachung möglicher Spulen- oder Spannschäden. Ein umfassendes Sicherheitssystem ist auch für den Bedienungs- und Geräteschutz enthalten. SPEEDFAM Auriga Einheit ist für hochpräzise Schleif- und Polierarbeiten konzipiert und hat sich als genauer und konsistenter als andere Methoden auf einer Reihe von Materialien, einschließlich Keramik, Saphir, Verbundwerkstoffe, Gummis und Kunststoffe. Sein Einsatz in der Halbleiter-, MEM- und Optikindustrie ist ein Beleg für seine Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit.
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