Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9092866 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9092866
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
CMP system, 8"
Used for Tungsten Polish
676 Mainframe with Operator Interface Monitor
System Computers: (1) SysCon, (4) Polish Heads, (1) Endpoint, (1) C2C
ystem Software: Advantgaard 676 3.0 rev S S
Brookside Endpoint Detection System with Configurable Algorithm to Detect Endpoint
(4) Mechanical polishing heads with Advanced Pad Motion
(3) Systolic Pumps for Slurry or DI Water
High Flow DI Water Rinse Valve Configuration
Upper and Lower Pneumatics Panel
Hoist for Upper Motor and Tower Removal
(2) Pad Conditioning Systems
Cassette to Cassette Wafer Handling System
Genmark Gencobot Multi-Axis Robot with Wafer Pickup Paddle
Wet Cassette Assembly with Wafer Sensor Array
Spray Box Assembly
Electrical Cabinet with Computer Control Station
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676 Wafer Schleif-, Läpp- und Polieranlagen ist eine umfassende Plattform zur Herstellung der Komponenten integrierter Schaltungen (ICs). Dieses hochmoderne System ist mit den neuesten Automatisierungstechnologien ausgestattet, um ein hohes Maß an Genauigkeit und Durchsatz zu gewährleisten. Die Maschine verwendet eine Kombination aus Schleif-, Läpp- und Poliertechniken, um eine glatte, ebene Oberfläche mit minimalen Defekten zu erreichen. IPEC Avantgaard 676 enthält einen Präzisionsschleifer mit einer diamantbeschichteten Schleifscheibe. Durch den Mahlvorgang werden Diamantpartikel abgenutzt, um die gewünschte Oberflächenrauhigkeit zu erreichen. Um die Oberfläche weiter zu verfeinern, wird der Läppvorgang angewendet. Dabei wird ein rotierendes Schleifmaterial bestimmter Größenverteilung verwendet, um eventuell verbleibende Unvollkommenheiten zu beseitigen. Darüber hinaus verfügt die Einheit über einen Feinpolierer, der ein ähnlich rotierendes Schleifmaterial verwendet, um die feine Oberflächengüte wiederherzustellen und zu verbessern. Die Maschine ist benutzerfreundlich aufgebaut, mit einer flexiblen Werkzeughandhabungsmaschine und einer selbstzentrierenden Spindel. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über einen Hochleistungs-Roboterarm, der auf mehrere Funktionen programmiert werden kann, einschließlich Be- und Entladen von Wafern aus dem Werkzeug und Anpassungen der Schleif-, Läpp- und Polierprozesse. Darüber hinaus verfügt der Vermögenswert über eine breite Palette von Maßnahmen zur Überwachung und Bewertung des Prozesses. Dazu gehört ein erweitertes Prozessüberwachungsmodul, das in Echtzeit die Prozessparameter wie Spindeldrehzahl und Druck überwacht. Darüber hinaus umfasst das Modell eine detaillierte Datenerfassungsausrüstung zur statistischen Analyse des Prozesses. Schließlich ist WESTECH Avantgaard 676 mit den neuesten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich eines robusten Verriegelungssystems, das sicherstellt, dass die Plattform bei Anomalien oder Störungen vollständig heruntergefahren wird. Die Maschine wird auch nach den Sicherheitsvorschriften der Internationalen Elektrotechnischen Kommission (IEC) gebaut. Insgesamt ist Avantgaard 676 eine leistungsstarke und zuverlässige Schleif-, Läpp- und Poliereinheit, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Sein benutzerfreundliches Design, sein breites Spektrum an Funktionen und erweiterte Sicherheitsfunktionen machen dies zu einer idealen Plattform für die hochpräzise IC-Produktion.
Es liegen noch keine Bewertungen vor