Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #293750600 zu verkaufen

ID: 293750600
Weinlese: 1996
Automatic wafer polisher APP1000 Pad conditioning Pressure (CDA): 100-80 psi (N2) Vacuum: >-20 Hg Compressed air peak flow: 6 SCFM (170 SLM) Nitrogen peak flow: 10 SCFM (283 SLM) Chilled water peak flow: 5 GPM (18.9 l/min) DI Water: Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min) Average flow: 2-5 GPM (7.57-18.9 l/min) Power supply: 208-460 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase Manual 1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 ist eine Vier-Stationen-Schleif-, Läpp- und Poliermaschine, mit der Halbleiterscheiben verarbeitet und refinanziert werden können. Diese Maschine wurde entwickelt, um überlegene Leistung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei Waferschleif-, Läpp- und Polierprozessen zu bieten. Dieses Gerät ist modular aufgebaut und ermöglicht eine einfache Konfiguration für unterschiedliche Prozessanforderungen und einen schnellen Übergang zwischen den Prozessen. IPEC Avanti 472 kann bis zu vier Wafer gleichzeitig verarbeiten. WESTECH Avanti 472 ist mit zwei Läpptischen und zwei Poliertischen für die Bearbeitung von Wafern in jeder Station ausgestattet. Diese Tische sind für Hochgeschwindigkeitseinwirkung bei schwingungsarmen Betrieb ausgelegt und ermöglichen eine präzise Steuerung des gesamten Prozesses. Das System ist mit zwei dedizierten Wechselstrommotoren für jede Läpp- und Polierscheibe ausgestattet, die eine ausgezeichnete Taktung und eine stabile Drehzahlregelung bieten. Die einstellbare Geschwindigkeitsoption optimiert die Einstellung der Belastungs- und Geschwindigkeitsverhältnisse. Avanti 472 kommt mit drei Arten von Schleifmedien, die in der Lage sind, eine breite Palette von Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Diese Schleifmedien umfassen Diamantkörner, Keramikkörner und Siliziumkarbidkörner. Jede Art von Grit bietet ein anderes Maß an Polierwirkung, so dass der Benutzer am besten ihre besonderen Bedürfnisse erfüllen. Außerdem können die Schleifmedien zwischen Prozessen geschaltet werden, um die Werte des Fertigprodukts einzustellen. Das Gerät verfügt über eine programmierbare Prozesssteuerung, um eine einfache und benutzerfreundliche Schnittstelle bereitzustellen. Dieser Controller ermöglicht es Benutzern, die Prozessparameter nach ihren spezifischen Bedürfnissen zu programmieren sowie Diagnosen und Feedback zu den Prozesseinstellungen bereitzustellen. Der Controller kann bis zu zwanzig separate Programme speichern, um verschiedene Einstellungen schnell und einfach abzurufen. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem Angriffswinkel-Monitor zur Überwachung des Schleif-/Polierwinkels des Wafers und einer Schleiftiefenüberwachung ausgestattet, um die Gesamttiefe des Schleifvorgangs zu verfolgen. Schließlich ist SPEEDFAM Avanti 472 Maschine mit einer Reihe von Sensoren und Ladern für unbeaufsichtigten Betrieb automatisiert, so dass überlegene Produktivität, Flexibilität und Genauigkeit.
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