Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #60082 zu verkaufen

ID: 60082
Wafergröße: 4"-8"
Chemical Mechanical Polisher (CMP), 4"-8" Automatic loading / Unloading DI Water: Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min) Average flow: 6 GPM (22.7 l/min) Pressure: 25 - 30 PSI Chilled water: Peak flow: 5 GPM (18.9 l/min) Compressed air: Peak flow: 6 SCFM (170 SLM) Nitrogen: Peak flow: 10 SCFM (283 SLM) Power supply: 208-380 V, 460 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 ist ein hochmodernes Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem. Der 472 ist speziell für den Einsatz mit Halbleitersubstraten konzipiert und bietet hervorragende Schleif-, Läpp- und Polierfunktionen. Die 472 ist die neueste Version der Avanti-Serie und bietet die modernste in der Wafer-Schleif- und Poliertechnik. IPEC Avanti 472 besteht aus einem verstellbaren zweiarmigen Portal, in dem ein Zweispindelschleif-, Läpp- und Poliersystem untergebracht ist. Ausgestattet mit einem Platte mit 40mm Durchmesser und einem 200mm Tisch, bietet die 472 Präzisionsmaterial Entfernung und Planarisierung, unter Beibehaltung der Mikron Genauigkeit über die Waferoberfläche. Mehrere Platten können gleichzeitig verwendet werden, um den Durchsatz zu erhöhen, und die patentierte Planetenbewegung des Portals verbessert die vertikale Trennfähigkeit und bietet eine hochwertige Oberfläche. Das 472 verwendet ein modulares Design für eine schnellere Integration und Einrichtung und ist mit Touchscreen-Steuerelementen für eine vereinfachte Benutzeroberfläche ausgestattet. Integrierte Prozessqualitätskontrolle wird mit Software verwaltet, einschließlich fortschrittlicher Prozessüberwachung und automatisierter Diagnosewartung. Der 472 ist auch mit integrierten Sicherheitssensoren für zusätzlichen Bedienerschutz ausgestattet. Die 472 verfügt über eine Vielzahl von rotierenden und festen Spindeln. Hochgeschwindigkeitsrotationsspindeln bieten optimale Drehzahlflexibilität, während programmgesteuerte Spindeln die Genauigkeit und Wiederholbarkeit verbessern. Diamantschleifscheiben werden verwendet, um eine außergewöhnlich ebene Oberfläche zu erreichen, während ein zusätzliches Schleifsystem verwendet wird, um dünne Materialschichten mit größerer Präzision zu entfernen. Automatisierte Dichtungssysteme, Umweltkammern und eine Vielzahl von Werkzeugen stehen ebenfalls zur Verfügung, so dass nahezu jedes Material bearbeitet werden kann. Der 472 bietet Vielseitigkeit und Präzision für eine breite Palette von Waferschleifen, Läppen und Polieren. Sein modularer Aufbau macht Integration und Wartung einfacher denn je und seine automatisierten Steuerungen sorgen jedes Mal für zuverlässige und qualitativ hochwertige Ergebnisse. Die 472 ist die Spitze der Wafer Schleif-, Läpp- und Poliertechnologie und bietet die höchste Qualität Endprodukt und Prozesssicherheit in der Branche.
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