Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9109476 zu verkaufen
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ID: 9109476
Wafergröße: 8"
CMP polisher, 8"
Polish Arm/Wafer Carrier
Load/Unload Station
Primary/Final Polish Table (22.5"/20.625")
Carrier Clean Station
APP1000 Pad Conditioner
Adjustable Parameters: Polish Arm Downforce and Backpressure
Polish Platen Rotational Speed
Polish Platen Temperature
Wafer Carrier Assembly Rotation Speed
Polish Arm Assembly Oscillation Speed and Distance
Slurry Pump Output
APP1000 Pad Profiling
Alarm Band Width.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es besteht aus einem computergesteuerten Drehtisch, der auf einem vertikalen Abschnitt der Maschine montiert ist, wo die Polierwerkzeuge platziert werden. Der Tisch ist sowohl in beide Richtungen drehbar als auch in 1 ° -Schritten drehbar. Die Polierarme haben vier Spannarme und jeder kann je nach Form und Größe des Wafers bis zu drei Polierwerkzeuge aufnehmen. Das Präzisionsschleifwerkzeug mit selbstzentrierendem Spannfutter ermöglicht ein schnelles und präzises Schleifen von dünnen Wafern, die hohe Durchsätze ermöglichen. Der Läpparm ist sowohl manuell als auch automatisch steuerbar. Es ermöglicht die präzise Steuerung von Läppvorgängen ohne die Notwendigkeit eines Bedieners. Der Polierarm ist in ein ABM Futuristic System integriert, das einen Polierroboter mit hin- und hergehendem Plattenarm für spindelloses Läppen aufweist. Der Drehtisch ist mit einem 6-Gang-Motor zum Polieren mit Diamanträdern verbunden. Es ist auch mit einem Spindelkopf integrierte Machine-Vision-Einheit, die für die Messung der Wafer Oberflächenqualität ermöglicht ausgestattet. IPEC Avanti 472 verfügt auch über einen pneumatischen Dämpfer, um Vibrationen zu reduzieren. Es ist mit einer vibrationsisolierten Basis konstruiert, um Geräusche für mehr Sicherheit und Komfort zu minimieren. Die Maschine ist auch mit einer Inline-Tensidlieferung ausgestattet, um die Reinigung zu verbessern und die Abfallproduktion zu reduzieren. Das integrierte Läppsteuerungswerkzeug ermöglicht präzisere Läppvorgänge. WESTECH Avanti 472 ist auch mit einer zweistufigen Widerstandsheizung ausgestattet, um nasse Materialien zum Läppen und Polieren zu trocknen. Es hat auch einen Kühler, der Kühlwasser während des Polierlaufs durch das Modell zirkuliert, um das Risiko einer Überhitzung zu verringern und die strukturelle Integrität des Wafers zu verbessern. Darüber hinaus verfügt Avanti 472 über einen vollständig geschlossenen Schrank mit einem Sicherheitsgehäuse mit einer Notabschaltung, die den Strom im Notfall abschaltet. Die benutzerfreundliche Touch-Panel-Schnittstelle für enthält eine benutzerfreundliche Maschinenschnittstelle für einfachere Bedienung und Überwachung sowie eine Datenerfassungseinrichtung, die alle für die Polier- und Schleifprozesse relevanten Daten erfasst. Insgesamt ist SPEEDFAM Avanti 472 ein fortschrittliches und zuverlässiges Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem, das für die effiziente Herstellung hochpräziser Wafer entwickelt wurde. Es bietet zuverlässige Leistung und eine hohe Genauigkeit in allen seinen Prozessen.
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