Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9220761 zu verkaufen

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472
ID: 9220761
CMP Polisher.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung ist ein hochentwickeltes Halbleiter- und integriertes Schaltungs-Fertigungssystem. Es ist speziell zum Waferschleifen und Polieren von Substraten auf Waferebene konzipiert. Das Gerät ist in der Lage, einzelne und mehrere große Wafer bis zu 8 Zoll Durchmesser und bis zu 5 Millimeter dick zu schleifen und zu polieren. Es verwendet patentierte Schleif- und Poliertechniken, einschließlich Nass-, Trocken- und Laserätzen. Die Haupteinheit des Avanti besteht aus zwei getrennten Synchronlaufspindeln und einer hydraulischen Antriebsmaschine. Die Spindeln ermöglichen das Schleifen und Polieren mehrerer Wafer gleichzeitig. Die Spindeln steuern einzeln die Vorschub- und Drehgeschwindigkeit des Substrats über ein servogetriebenes Werkzeug. Der Schleif- und Polieradapter ist vom Schrankboden abnehmbar und kann bei Bedarf durch andere Polierköpfe ersetzt werden. Die Avanti hat drei verschiedene Arbeitszonen: eine Schleifzone, eine Polierzone und eine Reinigungszone. In der Mahlzone wird der Wafer mit großen Kornschleifpartikeln gestartet und dann die Korngröße reduziert, wenn er sich die Achse hinunter bewegt. Die Polierzone verwendet verschiedene Poliertechniken, wie Diamant, CMP und Additive. Die Reinigungszone ist die letzte Zone der Anlage und verwendet reines Wasser zur Entfernung von Prozessschutt. Das Modell ist zudem mit mehreren Prozesssteuerungsmöglichkeiten ausgestattet. Die Prozesssteuerung umfasst die Fähigkeit, die Spindeldrehzahl zu programmieren, die automatische Druckregelung und die automatische Fluidoptimierung. Es verfügt auch über eine Kühlmittel-Überwachungseinrichtung, die die Durchflussmenge und den Druck der im Betrieb verwendeten Kühlmittel überwacht. Darüber hinaus verfügt das System über eine eigene Temperaturregeleinheit, die zur Reduzierung der von den Spindeln erzeugten Wärme ausgelegt ist. IPEC Avanti 472 Maschine ist kompakt und einfach zu bedienen. Das Werkzeug wurde entwickelt, um Zuverlässigkeit und Genauigkeit zu bieten. Es ist auch sehr anpassbar, so dass Benutzer den Betrieb auf bestimmte Prozessanforderungen anpassen können. Dank seiner Langlebigkeit, Sicherheit und Flexibilität ist WESTECH Avanti 472 Wafer Grinding, Lapping & Polishing die perfekte Wahl für jeden Herstellungsvorgang von Halbleitern oder integrierten Schaltungen.
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