Gebraucht IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9259193 zu verkaufen

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ID: 9259193
Weinlese: 1997
CMP System 1997 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiterwaferherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System kann sehr gleichmäßige Oberflächenbearbeitungen mit höchstens geringfügiger Geschirr- und Seitenwandebenheit erreichen. Das Gerät kann auch eine Vielzahl von Substraten und Materialien für Verarbeitungsvorgänge unterstützen. Die Maschine besteht aus drei Hauptkomponenten: einem elektrostatischen Spannfutter, einem Poliertisch und einem motorisierten Drehtisch. Das elektrostatische Spannfutter weist eine zweistufige Heiztemperatur auf und kann Substrate bis zu 8 "Durchmesser aufnehmen. Der Poliertisch besteht aus beschichtetem, korrosionsbeständigem Aluminium und hat eine einstellbare Drehzahlregelung für maximale Drehzahl und Endqualität. Schließlich ermöglicht ein motorisierter Drehteller die Bearbeitung und Konservierung von bis zu 16 "Wafern. Die Tabelle hat auch variable Geschwindigkeiten zum Läppen und Polieren, die Optimierung und Ergebnisse bietet, die konsistenter sind als eine manuelle Bedienung. Darüber hinaus kann das Werkzeug auch mit einer Reihe von Zubehörteilen wie einem Temperaturregler, Vakuumfutter, Kraftmessstreifen und einem Timing ausgestattet werden. Ein Temperaturregler sorgt dafür, dass die gewünschte Temperatur während der gesamten Verarbeitung eingehalten wird. Vakuumfutter stehen zur Verfügung, um Wafer beim Polieren und Läppen sicher an Ort und Stelle zu halten. Kraftmessgeräte werden verwendet, um den auf den Wafer ausgeübten Abwärtsdruck zu überwachen, wodurch während des gesamten Betriebs eine konstante Polierkraft gewährleistet wird. Schließlich bietet das integrierte Timing-Modell genaue Start/Stopp-Intervalle, die präzise Polieroperationen ermöglichen. Insgesamt ist IPEC Avanti 472 eine umfassende und automatisierte Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiter-Wafer-Fertigungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System bietet präzise, wiederholbare und effiziente Polieroperationen und ist damit eine ideale Wahl für die Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie.
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