Gebraucht JEOL SM-09010 #293638040 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
JEOL SM-09010 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die zur Herstellung glatter, hochwertiger Oberflächen auf Wafern entwickelt wurde. Das System verwendet ein Präzisionsspindel-Design, um überlegene Genauigkeit und Oberflächengüte für Schleif- und Polieranwendungen zu bieten. Das Gerät verwendet eine motorisch angetriebene Spindelmaschine, um ein hohes Maß an Steuerung und Automatisierung über Schleif- und Polierprozesse zu gewährleisten. Das Werkzeug ist in der Lage, Materialschichten von mehr als 1 µm Dicke abzuschleifen und kann eine durchschnittliche Waferoberflächenrauhigkeit von 0,3 - 0,7 µm RMS erzeugen. Die Spindel ist mit einer Steuerung ausgestattet, um die präzise Positionierung des Wafers zu erleichtern und den Schleif-, Läpp- und Polierprozess zu optimieren. Die Spindel verfügt außerdem über ein Drucksensormodell, um die optimale Oberflächengüte zu gewährleisten. Die Spindel wird von einem bürstenlosen Motor angetrieben, der einen leisen Betrieb und eine überlegene Wiederholbarkeit und Genauigkeit ermöglicht. Das Gerät verwendet für jeden Prozess zwei verschiedene Schleifscheiben. Eine zum Schleifen und Läppen und die andere zum Polieren. Jede Scheibe wurde entworfen, um eine konsistente, hohe Oberflächengüte mit minimaler Beschädigung des darunter liegenden Substrats zu erzeugen. Die Scheiben verfügen über ein gestuftes Design, um Gleichmäßigkeit im Schleif- und Polierprozess zu ermöglichen. Das System umfasst auch einen Vakuum-Pick-up-Shuttle zur Automatisierung der Übertragung des Wafers vor und nach dem Schleifen, Läppen und Polieren. Das Vakuum-Shuttle ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Wafertypen aufzunehmen, darunter runde, rechteckige und 'geschlitzte Chip-Form' -Wafer. Das Gerät ist zusätzlich mit einer Flüssigkeitskühlmaschine ausgestattet, um die Bildung von wärmebedingten Defekten zu verhindern. Insgesamt bietet JEOL SM 09010 ein leistungsstarkes, zuverlässiges und präzises Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug für die Herstellung von hochwertigen Wafern. Mit seinen automatisierten Fähigkeiten und der hochpräzisen Spindel ist es in der Lage, konsequent überlegene Oberflächenbearbeitungen mit minimaler Beschädigung des Substrats zu produzieren.
Es liegen noch keine Bewertungen vor