Gebraucht JEOL SM-09010 #9055560 zu verkaufen

JEOL SM-09010 ist eine automatisierte Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Aufnahme von Dickfilmschaltungen aus dem Reinraum in den Backend-Verpackungsmontageprozess konzipiert ist. Dieses System bietet einen hohen Durchsatz, eine geringe Partikelverschmutzung sowie eine präzise Dicken- und Oberflächenplanaritätsregelung für eine optimale Fertigung. JEOL SM 09010 enthält ein Wafer-Spannfutter für eine sichere Handhabung von Substraten und enthält eine Reihe von Läpp- und Polierschritten, um die gewünschte Oberflächengüte zu erreichen. Die sicheren Halte- und Isolationssysteme des Waferfutters ermöglichen die Verarbeitung von einzelnen oder mehreren dünnen oder dicken Substraten. Je nach gewählter Konfiguration können die Halte- und Isolationssysteme von manuell bis automatisiert variieren. Für Multi-Chip-Module bietet das Spannfutter einen optimierten Klemmdruck, der auf die Anforderungen der Anwendung einstellbar ist. SM-09010 enthält eine integrierte Diamantschleifscheibe zum Präzisionsschleifen während der gesamten Waferdrehung. Dadurch wird eine gleichmäßige Oberflächenstruktur gewährleistet. Die Schleifscheibe sorgt auch für einen geringen Schleifdruck, wodurch ein Kratzen verhindert wird. Das Gerät ist auch mit einer Läppplatte ausgestattet, die eine Ebenheits- und Dickenkontrolle während der Läppphase des Prozesses ermöglicht. Die Läppplatte besteht aus einer proprietären Beschichtung, die den Wirkungsgrad erhöht und den Schlupf reduziert. Die Polierstufe ist, wo die Maschine wirklich glänzt. Es verwendet ein aktuatorgetriebenes diamantagglomeriertes Pad, um gleichmäßige Oberflächentopographie zu erreichen. Das Pad ist auch entworfen, um Stress zu reduzieren und jede Gratbildung zu verhindern. In dieser Stufe kann ein RMS-Wert kleiner als 3nm erreicht werden. Zusätzlich verfügt die Polierstufe der SM 09010 über eine Inertgasspülung sowie eine fortschrittliche Temperaturregelung. Dies sorgt für konsistente Ergebnisse und reduziert das Auftreten von Staubpartikeln und anderen Verunreinigungen, die die Einhaltung von Sauberkeitsstandards verhindern könnten. Schließlich verfügt JEOL SM-09010 über ein Informationsanzeigetool, das kontinuierliches Echtzeit-Feedback zu Prozessparametern, Ergebnissen und anderen Informationen liefert. Das Asset kann auch umfassende Berichte für jeden Prozesszyklus erstellen und eine tiefgreifende Qualitätsdatenanalyse für optimale Produktreinheit und -leistung ermöglichen. Insgesamt ist JEOL SM 09010 Wafer Schleif-, Läpp- und Poliermodell eine ideale Option für die komplette und automatisierte Substratverarbeitung, die Reinraumherstellungsstandards erfüllt. Mit seinen sicheren und anpassbaren Haltesystemen, Präzisionsschleif- und Polierstufen sowie Informationsanzeige- und Analysefunktionen ist dies die perfekte Lösung für die Herstellung hochwertiger Dünnschichtschaltungen.