Gebraucht LAPMASTER 600/2 #9300180 zu verkaufen
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ID: 9300180
Weinlese: 1983
Double side lapper, 24"
Plate drive motor: 3 HP
Work drive: 1 HP
Hydraulic pump: 1 HP
Lapping speed: 8 ~ 84 RPM
Manuals and prints
Slurry pump
1983 vintage.
LAPMASTER 600/2 ist ein Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem, das entwickelt wurde, um eine überlegene Ebenheit und Oberfläche auf Wafern in der Halbleiterindustrie zu erreichen. LAPMASTER 600/2 System bietet überlegene Leistung in Waferschleif-, Runden- und Polierprozessen in drei Stufen, mit der Fähigkeit, 200mm und 300mm Wafer zu verarbeiten. Das integrierte System startet den Schleifprozess mit einer SPS-gesteuerten Schleifspindel, wo ein Werkstück an der Vorrichtung befestigt und in der Y-Achse geschliffen wird. Die Spindel wird von einem Wechselstrom-Servomotor angetrieben, der über einen Frequenzumrichter überwacht und gesteuert wird, um eine überlegene Planheit zu erzielen. Die Schleifspindel ist in der Lage, bei niedriger Geschwindigkeit mit ausgezeichneter Kraftregelung den Vorschub herunterzufahren, was zu einem gleichmäßigen und gleichmäßigen Schleifen führt. Die zweite Stufe des Runden- und Polierprozesses wird auf einem Präzisionslapptisch durchgeführt. Dies ermöglicht Oberflächenplanität, Parallelität und Finish zu sehr engen Toleranzen. Es verwendet einen speziell formulierten Stein-auf-Stein-Kontakt zwischen Wafer und Tisch. Angetrieben wird der Tisch von einem Wechselstrom-Servomotor, der von einem Frequenzumrichter überwacht und gesteuert wird. Die Spindeln sind wiederum mit Servomotoren verbunden, die eine effiziente Drehzahlregelung mit sicherer Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit ermöglichen. Die letzte Stufe des Verfahrens ist ein Polierprozess, der von einem Druck-auf-Kraft-Regler gesteuert wird. Die Polierpads werden von einem Wechselstrom-Servomotor angetrieben und von einem Frequenzumrichter überwacht und gesteuert, um vorprogrammierte Parameter für die Druck-auf-Kraft einzustellen. LAPMASTER 600/2 ist mit einer Touchscreen-Schnittstelle ausgestattet, die eine einfache Bedienung und Parametereinstellung beim Schleifen, Läppen und Polieren ermöglicht. LAPMASTER 600/2 bietet beispiellose Präzision und Genauigkeit über die Teilegröße, innerhalb einer Serie. LAPMASTER 600/2 ist eine äußerst zuverlässige und kostengünstige Lösung für die anspruchsvollsten Schleif-, Läpp- und Polierprozesse.
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