Gebraucht MIROKU MLS-600-4 #9223163 zu verkaufen

MIROKU MLS-600-4 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die Wafer bis zu 600 mm Durchmesser in einem Arbeitsgang verarbeiten kann. Das System besteht aus vier Stationen, genannt Schleifstation, Schleif-/Läppstation, Polierstation und Reinigungsstation. Die Schleifstation befindet sich oben am Gerät und besteht aus einer Schleifscheibe, die sich mit Geschwindigkeiten bis 7000 U/min dreht. Diese Station ist für das Schleifen des Wafers bis auf die gewünschte Dicke verantwortlich. Der Wafer wird mit einem horizontal beweglichen Arm unter Druck gesetzt, um die gewünschte Dicke zu erreichen. Die Schleif-/Läppstation befindet sich unterhalb der Schleifstation und besteht aus einer rotierenden Läppplatte, auf der eine Medienscheibe gelagert ist. Die Läppplatte dreht sich mit Geschwindigkeiten zwischen 0 und 1200 U/min, während sich das Medienrad in einem Aufwärtshub bewegt, um eine Läppaktion auf dem Wafer zu erzeugen. Diese Läppwirkung hilft, Restschleifschutt von der Waferoberfläche zu entfernen und seine Oberfläche glatt zu lassen. Die Polierstation befindet sich unterhalb der Läppstation und besteht aus einem gegenläufig rotierenden Polierrad und einem Hinterrad. Das Polierrad wird verwendet, um den Wafer zu einer Spiegelung zu polieren, während das Hinterrad hilft, die Rundheit des Wafers zu erhalten. Das Polierrad arbeitet mit Drehzahlen zwischen 0 und 3000 U/min und ist verstellbar, um die gewünschte Oberflächengüte zu erreichen. Schließlich befindet sich die Reinigungsstation am Boden der Maschine und besteht aus einem Schleudertrockner. Diese Station ist für die Reinigung von Restschutt von der Waferoberfläche nach dem Polieren verantwortlich und ist mit einem Zentrifugalextraktionswerkzeug ausgerüstet, das restliche Partikel entfernt. Insgesamt ist MLS-600-4 ein effizientes und hochgenaues Waferschleifen, Läppen und Polieren, das Wafer mit bis zu 600 mm Durchmesser verarbeiten kann und mit Funktionen wie Schleifscheibe, Läppscheibe, Polierscheibe, Hinterrad und Spültrockner ausgestattet ist, um eine professionelle Oberflächengüte zu gewährleisten.