Gebraucht NELMOR RG1215-M1 #9114116 zu verkaufen
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NELMOR RG1215-M1 ist eine leistungsstarke Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für maximale Leistung in der Halbleiterverarbeitung, MEMS-Herstellung und anderen verwandten Anwendungen entwickelt wurde. Das System besteht aus einem erweiterten zweiachsigen Schleifkopf, einem doppelseitigen Läpptisch und einer optionalen Radpolierstation. Der zweiachsige Schleifkopf besteht aus einem Schleifmotor, einer Schleifscheibe und einem hochgenauen Drehservomotor. Der Drehservomotor ist in der Lage, die Drehung der Schleifscheibe in 0,01 ° Schritten genau zu steuern. Die präzise Steuerung ermöglicht das genaue und leistungsfähigere Schleifen von Wafern. Es eignet sich sogar zum Schleifen bei niedrigen Geschwindigkeiten, um den Verschleiß der Schleifscheibe zu reduzieren. Die integrierte automatische Z-Achse des Schleifkopfes ermöglicht das präzise Schleifen von Merkmalen auf dem Wafer. Der Läpptisch wurde entwickelt, um das flache Läppen und Polieren von Wafern auf beiden Seiten mit frei schwimmenden Diamantpads zu ermöglichen. Es ist in der Lage, beide Seiten von Wafern in einem Durchgang zu läuten.Jeder Läpptisch kann bis zu 20 Wafer auf einmal enthalten, was einen hohen Durchsatz ermöglicht. Die integrierte Datenerfassungseinheit liefert Daten wie Verarbeitungszeit, Läppmodus und Kraft. Die optionale Radpolierstation kann verwendet werden, um Läpp- oder Bodenwafer zu beenden. Es ist in der Lage, eine hochpräzise Oberflächenpolierung auf beiden Seiten eines Wafers gleichzeitig durchzuführen. Die Station umfasst einen Poliermotor, vier Polierräder und einen Spindelmotor. Die Drehbewegung des Spindelmotors und des Poliermotors kann in 0,1 ° Schritten exakt gesteuert werden, um einen hochgenauen und wiederholbaren Vorgang zu gewährleisten. Abschließend ist RG1215-M1 eine überlegene Scheibenschleif-, Läpp- und Poliermaschine für die Halbleiterverarbeitung. Es ist in der Lage, Wafer mit hoher Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu schleifen, zu läppen und zu polieren.
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