Gebraucht NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9226639 zu verkaufen

NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9226639
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Tungsten CMP system, 6" 1998 vintage.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 Vierachs-Wafer-Schleif-, Läpp- und Polieranlagen ist eine hochmoderne Wafer-Bearbeitungsmaschine. Es ist einzigartig entworfen, um eine breite Palette von Wafergrößen zu handhaben, bis zu 300mm im Durchmesser. Das System verfügt über eine robotische Werkstückhandhabungseinheit mit Direktantrieb sowie einen präzisen, schnellen, on-the-fly Läpp- und Polierkopf. Diese Kombination von Funktionen bietet dem Benutzer eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit. IPEC 472 wird durch eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) angetrieben, so dass Bediener die Maschine einfach anpassen und steuern können. WESTECH 472 verfügt über mehrere bordeigene Sicherheitssysteme, darunter einen Not-Aus-Schalter und mehrere Verriegelungen an der Tür. Es verfügt außerdem über einen Vakuumspeicher für die Mahlkammer, der einen staubfreien Betrieb ermöglicht. SPEEDFAM 472 wird von einem leistungsstarken CNC-Controller angetrieben, der eine präzise Drehzahl- und Bewegungssteuerung bietet. Das Werkzeug beinhaltet außerdem eine Mehrzonen-Temperaturregelung, um gleichmäßige thermische Bedingungen über den gesamten Wafer zu gewährleisten. Dies gewährleistet die maximale Genauigkeit über den gesamten Läpp- und Polierprozess. NOVELLUS 472 ist mit einem automatisierten Mediennachschub-Modell ausgestattet, mit dem der Anwender problemlos zwischen Medienklassen wechseln kann. Die fortschrittliche Geschwindigkeit und Präzision von 472 ermöglicht sowohl Wafer-Schleif- und Läppanwendungen als auch ultrafeine Polieranwendungen für die anspruchsvollsten Anwendungen. NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 verfügt über 4-Achsen-Steuerung für maximale Flexibilität und Genauigkeit. Angetrieben wird es durch eine ausgeklügelte, zweikopfige Läpp- und Polierspindel für bis zu 12.000 U/min, für die Arbeit an jeder Kombination von Waferorientierungen und Materialtypen. Die integrierten Schleifkammern und mehrere Läppköpfe sorgen jedes Mal für einheitliche, konsistente Ergebnisse. Abschließend ist IPEC 472 eine leistungsstarke, fortschrittliche Waferbearbeitungsausrüstung, die den Anwendern jedes Mal überlegene Läpp- und Polierergebnisse bietet. Seine hohe Geschwindigkeit und Präzision, kombiniert mit seinem intuitiven Design und der einfachen Anpassung, macht es zu einer Top-of-the-Line-Lösung für Wafer-Schleif-, Läpp- und Polieranwendungen.
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