Gebraucht NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293761797 zu verkaufen

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 ist eine leistungsstarke und umfassende Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für komplexe Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Dieses System eignet sich zum Schleifen, Läppen und Polieren einer Vielzahl von Wafern, einschließlich niederdimensionaler und nicht homogener Wafer, für eine Vielzahl von Branchen, einschließlich Halbleiter, Luft- und Raumfahrt, Automobil und Medizin. Das Gerät ist mit fortschrittlicher Prozesssteuerung, automatisierten CIP-Updates, automatischer Prozessmanagementmaschine und maschineller Rezeptwartung ausgestattet. Das Tool verwendet fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, die es ermöglicht, präzise Genauigkeit in der Produktion von Produkten mit hoher Präzision und reduzierter Rüstzeit zu erreichen. Darüber hinaus bietet das Asset eine integrierte Überwachung und Steuerung von Prozesswerkzeugbewegungen, Messungen und anderen Parametern, die erforderlich sind, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Das Modell integriert eine Reihe von Komponenten, darunter ein Wafer-Spannfutter, Wafertransportgeräte, Läpp- und Polierstifte, Vorausrichteinheit, Vakuumsystem sowie zwei große CNC-gesteuerte Servomotoren. Das Gerät ist für Durchsatzraten von bis zu 60 Wafern pro Stunde ausgelegt, bietet flexibles Rezeptmanagement und Programmierung und ist in der Lage, verschiedene Schleif- und Polieroperationen durchzuführen, einschließlich RA- und Rz-Messungen. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Sechs-Zoll-Kammer zur Reinigung und Vorbereitung der Wafer ausgestattet. Um die Sicherheit für das Personal sowie für das Werkzeug zu gewährleisten, ist IPEC 676 mit einem Monitoring and Access Asset (MAS) und mehreren Sensoren ausgestattet, um Modellparameter, Prozessparameter und Bedienerzugriffsinformationen zu überwachen. Das MAS ermöglicht auch die Remote-Prozessüberwachung, einschließlich Datenprotokollierung, um den Prozess zu verfolgen. Die Ausrüstung ist einfach in bestehende Prozessanlagen zu integrieren und bietet eine hoch einstellbare Plattform, die eine Vielzahl von Wafern und Prozessen akzeptieren kann. Der modulare Aufbau ermöglicht Systemupgrades und Austausch, falls sich betriebliche Anforderungen oder Prozessanforderungen ändern. Darüber hinaus bietet das Gerät erweiterte Diagnose- und Wartungsfunktionen, mit denen Benutzer alle Maschinenprobleme erkennen und notwendige Reparaturen durchführen können. Durch die Optimierung von Prozessparametern bietet WESTECH 676 hochpräzise Verarbeitung und zuverlässige Leistung bei minimalen Ausfallzeiten und geringer Wartung.