Gebraucht NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293830228 zu verkaufen

NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676
ID: 293830228
Electrical cabinets.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 Equipment ist eine robuste, mehrstufige Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliermaschine für die fortschrittliche dünne Waferbearbeitung. Es bietet zuverlässige, hochpräzise Schleifen, Läppen und Polieren für Substrate bis zu sechs Zoll Durchmesser und bietet einen adaptiven Geschwindigkeitsbereich von 1.200 bis 4.000 U/min. Das System besteht aus einer Basiseinheit mit einem Antriebsmechanismus, einem Läppkopf und einem Polierkopf; Mehrfacharme zum Be-/Entladen von Wafern; und verschiedene Zubehörteile. Ein Läppkopf und zwei Polierköpfe bieten die notwendige Plattform für die Substratverarbeitung. Der Läppkopf weist eine undurchlässige Vakuumbalgelagerung auf, die verhindert, daß Schlammtröpfchen entweder auf Wafern abgelegt oder in den Vakuumbalken eingeschlossen werden. Ein einstellbarer Drehzahlbereich (1.200 bis 4.000 U/min) ermöglicht eine präzise Steuerung von Läpp- und Polierzeiten. Die beiden Polierköpfe sind in der Lage, bis zu 200 Pfund Kraft auf jeden Wafer aufzubringen, was für Haltbarkeit und Genauigkeit bei der Verarbeitung sorgt. Darüber hinaus umfasst IPEC 676 Machine ein Vakuumwerkzeug zum Sammeln von Altmahlmaterialien sowie eine Luftanlage zur Kontrolle der Bauteiltemperaturen. Das Luftmodell ist entworfen, um Temperaturen unter 110 ° C zu halten und Umluftvolumen ist einstellbar, um die Luftströmungseffizienz zu maximieren. Wafer werden auch durch verstellbare Klemmen präzise auf dem Läppkopf positioniert, und die Maschine kann entweder für manuellen oder automatischen Betrieb konfiguriert werden. Die Maschine ist gut mit Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die Lichtvorhänge, Notstoppgeräte und Risikoanalyseschaltungen umfassen, die ständig potenzielle Risiken bewerten, um die Sicherheit der Maschine zu gewährleisten. WESTECH 676 Equipment eignet sich für die präzise dünne Waferbearbeitung und ist ideal für die Serienproduktion von Halbleiter- und supraleitenden Bauelementen.
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